Optik kaplayıcıların iş akışı genellikle şu ana adımları içerir: ön işlem, kaplama, film izleme ve ayarlama, soğutma ve çıkarma. Spesifik işlem, ekipman türüne (buharlaştırma kaplayıcı, püskürtme kaplayıcı vb.) ve kaplama işlemine (tek katmanlı film, çok katmanlı film vb.) bağlı olarak değişebilir, ancak genel olarak optik kaplama işlemi kabaca şu şekildedir:
İlk olarak hazırlık aşaması
Optik bileşenlerin temizlenmesi ve hazırlanması:
Kaplamadan önce optik bileşenlerin (lensler, filtreler, optik camlar vb.) iyice temizlenmesi gerekir. Bu adım, kaplamanın kalitesinin sağlanması için temel oluşturur. Yaygın olarak kullanılan temizleme yöntemleri arasında ultrasonik temizleme, asitleme, buharla temizleme vb. bulunur.
Temiz optik elemanlar genellikle kaplama makinesinin döner tertibatı veya sıkıştırma sistemi üzerine yerleştirilerek kaplama işlemi sırasında stabil kalabilmeleri sağlanır.
Vakum odasının ön işlemi:
Optik elemanı kaplama makinesine yerleştirmeden önce, kaplama haznesinin belirli bir vakum derecesine kadar pompalanması gerekir. Vakum ortamı havadaki kirleri, oksijeni ve su buharını etkili bir şekilde giderebilir, bunların kaplama malzemesiyle reaksiyona girmesini önleyebilir ve filmin saflığını ve kalitesini garanti edebilir.
Genellikle, kaplama haznesinin yüksek vakuma (10⁻⁵ ila 10⁻⁶ Pa) veya orta vakuma (10⁻³ ila 10⁻⁴ Pa) ulaşması gerekir.
İkincisi, kaplama işlemi
Başlangıç kaplama kaynağı:
Kaplama kaynağı genellikle buharlaşma kaynağı veya püskürtme kaynağıdır. Kaplama işlemine ve malzemeye göre farklı kaplama kaynakları seçilecektir.
Buharlaşma kaynağı: Kaplama malzemesi, bir elektron demeti buharlaştırıcısı veya direnç ısıtma buharlaştırıcısı gibi bir ısıtma cihazı kullanılarak buharlaşma durumuna kadar ısıtılır, böylece molekülleri veya atomları buharlaşır ve vakumda optik elemanın yüzeyine biriktirilir.
Püskürtme kaynağı: Yüksek voltaj uygulanarak hedef, iyonlarla çarpışarak hedefin atomlarını veya moleküllerini dışarı püskürtür ve bunlar optik elemanın yüzeyine biriktirilerek bir film oluşturur.
Film malzemesi birikimi:
Vakum ortamında, kaplanmış malzeme bir kaynaktan (buharlaşma kaynağı veya hedefi gibi) buharlaşır veya sıçrar ve optik elemanın yüzeyine kademeli olarak birikir.
Film tabakasının düzgün, sürekli olmasını ve tasarım gereksinimlerini karşılamasını sağlamak için biriktirme oranı ve film kalınlığının hassas bir şekilde kontrol edilmesi gerekir. Biriktirme sırasındaki parametreler (akım, gaz akışı, sıcaklık vb. gibi) filmin kalitesini doğrudan etkileyecektir.
Film izleme ve kalınlık kontrolü:
Kaplama sürecinde, filmin kalınlığı ve kalitesi genellikle gerçek zamanlı olarak izlenir ve yaygın olarak kullanılan izleme araçları, filmin biriktirme oranını ve kalınlığını doğru bir şekilde tespit edebilen kuvars kristal mikro terazisi (QCM) ** ve diğer sensörlerdir.
Sistem, bu izleme verilerine dayanarak, film tabakasının tutarlılığını ve düzgünlüğünü korumak için kaplama kaynağının gücü, gaz akış hızı veya bileşenin dönüş hızı gibi parametreleri otomatik olarak ayarlayabilir.
Çok katlı film (gerekirse):
Çok katmanlı bir yapı gerektiren optik bileşenler için, kaplama işlemi genellikle katman katman gerçekleştirilir. Her katmanın biriktirilmesinden sonra, sistem her film katmanının kalitesinin tasarım gereksinimlerini karşıladığından emin olmak için tekrarlanan film kalınlığı algılama ve ayarlaması gerçekleştirir.
Bu işlem, her katmanın belirli bir dalga boyu aralığında yansıma, iletim veya girişim gibi işlevleri yerine getirebilmesini sağlamak için her katmanın kalınlığının ve malzeme türünün hassas bir şekilde kontrol edilmesini gerektirir.
Üçüncüsü, soğutun ve çıkarın
CD:
Kaplama tamamlandıktan sonra optikler ve kaplama makinesinin soğutulması gerekir. Kaplama işlemi sırasında ekipman ve bileşenler ısınabileceğinden, termal hasarı önlemek için soğutma suyu veya hava akışı gibi bir soğutma sistemiyle oda sıcaklığına soğutulmaları gerekir.
Bazı yüksek sıcaklık kaplama işlemlerinde soğutma, sadece optik elemanı korumakla kalmaz, aynı zamanda filmin optimum yapışma ve stabiliteye ulaşmasını da sağlar.
Optik elemanı çıkarın:
Soğutma tamamlandıktan sonra optik eleman kaplama makinesinden çıkarılabilir.
Çıkarmadan önce, kaplama kalitesinin gerekliliklere uygun olduğundan emin olmak için, film tabakasının düzgünlüğü, film kalınlığı, yapışma vb. dahil olmak üzere kaplama etkisinin kontrol edilmesi gerekir.
4. Son işleme (isteğe bağlı)
Film sertleştirme:
Bazen kaplanmış filmin çizilmeye karşı dayanıklılığını ve dayanıklılığını artırmak için sertleştirilmesi gerekir. Bu genellikle ısıl işlem veya ultraviyole radyasyon gibi yollarla yapılır.
Film temizliği:
Filmin yüzeyindeki kirleticileri, yağları veya diğer safsızlıkları gidermek için temizleme, ultrasonik işlem vb. gibi küçük temizlik işlemleri yapılması gerekebilir.
5. Kalite denetimi ve test
Optik performans testi: Kaplama tamamlandıktan sonra, teknik gereksinimleri karşıladığından emin olmak için optik bileşen üzerinde ışık geçirgenliği, yansıtma, film düzgünlüğü vb. dahil olmak üzere bir dizi performans testi gerçekleştirilir.
Yapışma testi: Bant testi veya çizilme testi ile film ile alt tabaka arasındaki yapışmanın güçlü olup olmadığı kontrol edilir.
Çevresel kararlılık testi: Bazen pratik uygulamalarda kaplama tabakasının güvenilirliğini sağlamak için sıcaklık, nem, ultraviyole ışık gibi çevresel koşullar altında kararlılık testi yapmak gerekir.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 24-Oca-2025