Karaniwang kasama sa workflow ng mga optical coater ang mga sumusunod na pangunahing hakbang: pretreatment, coating, film monitoring and adjustment, cooling at removal. Maaaring mag-iba ang partikular na proseso depende sa uri ng kagamitan (tulad ng evaporation coater, sputtering coater, atbp.) at proseso ng coating (tulad ng single layer film, multilayer film, atbp.), ngunit sa pangkalahatan, ang proseso ng optical coating ay halos ganito:
Una, ang yugto ng paghahanda
Paglilinis at paghahanda ng mga optical na bahagi:
Bago ang patong, ang mga optical na bahagi (tulad ng mga lente, filter, optical glass, atbp.) ay kailangang linisin nang lubusan. Ang hakbang na ito ay ang batayan para matiyak ang kalidad ng patong. Ang mga karaniwang ginagamit na paraan ng paglilinis ay kinabibilangan ng ultrasonic cleaning, pickling, steam cleaning at iba pa.
Ang malinis na optical elements ay karaniwang inilalagay sa umiikot na device o clamping system ng coating machine upang matiyak na maaari silang manatiling matatag sa panahon ng proseso ng coating.
Pretreatment ng vacuum chamber:
Bago ilagay ang optical element sa coating machine, ang coating chamber ay kailangang pumped sa isang tiyak na antas ng vacuum. Ang kapaligiran ng vacuum ay maaaring epektibong mag-alis ng mga dumi, oxygen at singaw ng tubig sa hangin, maiwasan ang mga ito mula sa reaksyon sa materyal na patong, at matiyak ang kadalisayan at kalidad ng pelikula.
Sa pangkalahatan, kailangang magkaroon ng mataas na vacuum ang coating chamber (10⁻⁵ hanggang 10⁻⁶ Pa) o isang medium vacuum (10⁻³ hanggang 10⁻⁴ Pa).
Pangalawa, ang proseso ng patong
Pinagmulan ng panimulang patong:
Ang pinagmumulan ng patong ay karaniwang pinagmumulan ng evaporation o pinagmumulan ng sputtering. Ang iba't ibang pinagmumulan ng patong ay pipiliin ayon sa proseso ng patong at materyal.
Pinagmulan ng evaporation: Ang coating material ay pinainit sa isang evaporative state gamit ang isang heating device, tulad ng isang electron beam evaporator o isang resistance heating evaporator, upang ang mga molecule o atoms nito ay sumingaw at idineposito sa ibabaw ng optical element sa isang vacuum.
Pinagmumulan ng sputtering: Sa pamamagitan ng paglalapat ng mataas na boltahe, ang target ay bumangga sa mga ion, na nagbubuga ng mga atom o molekula ng target, na idineposito sa ibabaw ng optical na elemento upang bumuo ng isang pelikula.
Deposition ng materyal ng pelikula:
Sa isang vacuum na kapaligiran, ang pinahiran na materyal ay sumingaw o tumalsik mula sa isang pinagmulan (tulad ng isang evaporation source o target) at unti-unting nagdedeposito sa ibabaw ng optical element.
Ang deposition rate at kapal ng pelikula ay kailangang tumpak na kontrolin upang matiyak na ang layer ng pelikula ay pare-pareho, tuloy-tuloy, at nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo. Direktang makakaapekto sa kalidad ng pelikula ang mga parameter sa panahon ng deposition (tulad ng kasalukuyang, daloy ng gas, temperatura, atbp.).
Pagsubaybay sa pelikula at kontrol sa kapal:
Sa proseso ng coating, ang kapal at kalidad ng pelikula ay karaniwang sinusubaybayan sa real time, at ang karaniwang ginagamit na mga tool sa pagsubaybay ay ang quartz crystal microbalance (QCM) ** at iba pang mga sensor, na maaaring tumpak na makakita ng deposition rate at kapal ng pelikula.
Batay sa data ng pagsubaybay na ito, maaaring awtomatikong ayusin ng system ang mga parameter tulad ng kapangyarihan ng pinagmumulan ng coating, ang rate ng daloy ng gas o ang bilis ng pag-ikot ng bahagi upang mapanatili ang pagkakapare-pareho at pagkakapareho ng layer ng pelikula.
Multilayer film (kung kinakailangan):
Para sa mga optical na bahagi na nangangailangan ng isang multilayer na istraktura, ang proseso ng patong ay karaniwang isinasagawa sa bawat layer. Pagkatapos ng deposition ng bawat layer, magsasagawa ang system ng paulit-ulit na film thickness detection at adjustment upang matiyak na ang kalidad ng bawat layer ng pelikula ay nakakatugon sa mga kinakailangan sa disenyo.
Ang prosesong ito ay nangangailangan ng tumpak na kontrol sa kapal at uri ng materyal ng bawat layer upang matiyak na ang bawat layer ay maaaring gumanap ng mga function tulad ng pagmuni-muni, paghahatid o interference sa isang partikular na hanay ng wavelength.
Pangatlo, palamig at alisin
CD:
Matapos makumpleto ang patong, ang optika at ang coating machine ay kailangang palamig. Dahil ang mga kagamitan at mga bahagi ay maaaring maging mainit sa panahon ng proseso ng patong, kailangan nilang palamigin sa temperatura ng silid sa pamamagitan ng isang sistema ng paglamig, tulad ng paglamig ng tubig o daloy ng hangin, upang maiwasan ang thermal damage.
Sa ilang mga proseso ng patong na may mataas na temperatura, hindi lamang pinoprotektahan ng paglamig ang optical element, ngunit nagbibigay-daan din sa pelikula na makamit ang pinakamainam na pagdirikit at katatagan.
Alisin ang optical element:
Matapos makumpleto ang paglamig, maaaring alisin ang optical element mula sa coating machine.
Bago alisin, kinakailangang suriin ang epekto ng patong, kabilang ang pagkakapareho ng layer ng pelikula, kapal ng pelikula, pagdirikit, atbp., upang matiyak na ang kalidad ng patong ay nakakatugon sa mga kinakailangan.
4. Post-processing (opsyonal)
Pagpapatigas ng pelikula:
Minsan ang pinahiran na pelikula ay kailangang patigasin upang mapabuti ang scratch resistance at tibay ng pelikula. Ito ay kadalasang ginagawa sa pamamagitan ng paraan tulad ng heat treatment o ultraviolet radiation.
Paglilinis ng pelikula:
Upang maalis ang mga kontaminant, langis o iba pang dumi mula sa ibabaw ng pelikula, maaaring kailanganin na magsagawa ng maliit na paglilinis, tulad ng paglilinis, ultrasonic treatment, atbp.
5. Quality inspeksyon at pagsubok
Optical performance test: Matapos makumpleto ang coating, isang serye ng mga performance test ang isinasagawa sa optical component, kabilang ang light transmittance, reflectivity, film uniformity, atbp., upang matiyak na nakakatugon ito sa mga teknikal na kinakailangan.
Pagsusuri sa pagdirikit: Sa pamamagitan ng tape test o scratch test, suriin kung malakas ang pagkakadikit sa pagitan ng pelikula at ng substrate.
Pagsusuri sa katatagan ng kapaligiran: Minsan kinakailangan na magsagawa ng pagsubok sa katatagan sa ilalim ng mga kondisyong pangkapaligiran gaya ng temperatura, halumigmig, at ilaw ng ultraviolet upang matiyak ang pagiging maaasahan ng layer ng patong sa mga praktikal na aplikasyon.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Ene-24-2025