Wakuum örtük tehnologiýalarynda, ... bolmagyçökündi kamerasynyň içinde galan gazlarinçe plýonkalaryň gurluş, optiki we mehaniki häsiýetlerine düýpli täsir edip biler. PVD, magnetron püskürtme, ALD ýa-da PECVD proseslerinde bolsa-da, suw bugy, kislorod, azot we uglewodorodlar ýaly galan gaz görnüşleri ösýän plýonka we plazma gurşawy bilen özara täsirleşip, plýonkanyň stehiometriýasyna, dykyzlygyna, ýelmeşmegine we optiki işine täsir edýär.
Galan suw bugy iň möhüm hapalaýjylaryň biridir. Oksid ýa-da nitrid plýonka çökündisinde, hatda az mukdarda çyglylyk substrat ýüzünde gözegçiliksiz gidrolize ýa-da oksidlenme reaksiýalaryna getirip, çökündi gatlagyň niýetlenen stehiometriýasyny üýtgedip biler. Bu bolsa gözenekliligiň ýokarlanmagyna, döwülme görkezijisiniň peselmegine we optiki açyklygyň ýa-da şöhlelenme ukybynyň peselmegine getirýär. Şonuň ýaly-da, nasos ýaglaryndan, kamera diwarlaryndan ýa-da öňki gaýtadan işlemek sikllerinden goşulan uglewodorodlar plýonka matrisasyna goşulyp, siňdiriş merkezlerine, saçylma ýerlerine ýa-da plýonkanyň birmeňzeşligini we funksional işini peseldýän kemçiliklere sebäp bolup biler.
Reaktiw püskürme proseslerinde galan kislorod ýa-da azot nyşana ýüzüniň himiki düzümini üýtgedip, nyşana zäherlenmegine getirip biler. Bu hadysa püskürme çykaryşyny, plazma häsiýetlerini we çökme tizligini üýtgedýär, netijede galyňlygyň deň däl bolmagyna, optiki yzygiderlikleriň üýtgemelerine we gatylyk ýa-da ýelmeşme ýaly mehaniki häsiýetleriň bozulmagyna getirýär. Bu täsirler, esasanam, ýokary takyklykly köp gatlakly örtüklerde has aýdyň görünýär, bu ýerde refraksiýa görkezijisindäki ýa-da siňdirilişindäki kiçi üýtgeşiklikler spektral işjeňligi bozup biler.
Mundan başga-da, galyndy gaz basyşy we düzümi plazmanyň durnuklylygyna we energiýanyň paýlanyşyna täsir edýär. Kamera basyşyndaky üýtgeşiklikler ionlaşma dinamikasyny, ortaça erkin ýolu we bölejikleriň energiýasyny üýtgedip, plýonkanyň dykyzlaşmagyna, ýüzüň bükülmegine we dänejik gurluşyna täsir edýär. Pes basyşly hapalanma çökündileriň netijeliligini peseldip biler, reaktiw gazlaryň ýokary bölekleýin basyşy bolsa islenilmeýän himiki reaksiýalary çaltlaşdyryp, stehiometrik däl plýonkalary öndürip ýa-da içki stresi artdyryp biler.
Bu täsirleri azaltmak üçin wakuum örtük ulgamlary kamerany berk taýýarlamak we real wagt gözegçiligini öz içine alýar. Turbomolekulýar we kriogen nasoslary öz içine alýan örän ýokary wakuum nasoslary, kamerany düýpli bişirmek we substratyň öňünden işlenilmegi bilen utgaşdyrylyp, galan gaz derejesini peseldýär. Ýerinde galan gaz analizatorlary (RGA) gazyň düzümi barada üznüksiz pikir alyşmalary üpjün edýär, bu bolsa reaktiw gaz akymynyň, plazma parametrleriniň we çökündi gurşawynyň takyk gözegçilik edilmegine mümkinçilik berýär. Bu çäreler inçe plýonkalaryň dizaýn edilen optiki yzygiderliliklere, mehaniki bitewülige we uzak möhletli durnuklylygyna ýetmegini üpjün edýär.
Gysgaça aýdylanda, galyndy gazlar wakuum örtük proseslerinde inçe plýonkanyň hilini kesgitlemekde möhüm faktor bolup durýar. Olaryň täsiri himiki düzüme, mikrogurluşa, optiki öndürijilige we mehaniki häsiýetlere degişlidir. Ösen wakuum tehnologiýasy, proses gözegçiligi we kamerany taýýarlamak arkaly galyndy gaz mukdarynyň netijeli gözegçiligi optiki komponentlerden we displeý enjamlaryndan başlap, funksional gorag plýonkalaryna çenli dürli senagat ulanylyşlarynda gaýtalanyp bolýan, ýokary öndürijilikli örtükleri gazanmak üçin möhümdir.
-Bu makala çap edildiwakuum örtük enjamlaryny öndürijiZhenhua sowujy
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 10-njy marty