ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىدا، ... نىڭ مەۋجۇتلۇقىچۆكمە كامېراسىدىكى قالدۇق گازلارنېپىز پەردىلەرنىڭ قۇرۇلما، ئوپتىكىلىق ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلىرىگە زور دەرىجىدە تەسىر كۆرسىتىشى مۇمكىن. PVD، ماگنىترون پۈركۈش، ALD ياكى PECVD جەريانلىرىدا بولسۇن، سۇ پارى، ئوكسىگېن، ئازوت ۋە كاربون سۇ بىرىكمىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان قالدۇق گاز تۈرلىرى ئۆسۈۋاتقان پەردە ۋە پلازما مۇھىتى بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ، پەردىنىڭ ستېخىئومېتىرىيەسى، زىچلىقى، يېپىشىشچانلىقى ۋە ئوپتىكىلىق ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
قالدۇق سۇ پارى ئەڭ مۇھىم بۇلغىغۇچىلارنىڭ بىرى. ئوكسىد ياكى نىترىد پەردە چۆكمىسىدە، ئاز مىقداردىكى نەملىكمۇ ئاساسىي قاتلام يۈزىدە كونترول قىلىنمايدىغان گىدرولىز ياكى ئوكسىدلىنىش رېئاكسىيەسىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، چۆكمە قەۋەتنىڭ مەقسەت قىلىنغان ستېخىئومېتىرىيەسىنى ئۆزگەرتىۋېتىدۇ. بۇ، تۆشۈكلۈكنىڭ ئېشىشىغا، سىنىش كۆرسەتكۈچىنىڭ تۆۋەنلىشىگە ۋە ئوپتىكىلىق شەفافلىق ياكى قايتۇرۇش ئىقتىدارىنىڭ تۆۋەنلىشىگە ئېلىپ كېلىدۇ. شۇنىڭغا ئوخشاش، پومپا مايلىرى، كامېرا تاملىرى ياكى ئىلگىرىكى بىر تەرەپ قىلىش دەۋرىيلىكىدىن كىرگۈزۈلگەن كاربون سۇ بىرىكمىلىرى پەردە ماترىتسىسىغا قوشۇلۇپ، سۈمۈرۈش مەركەزلىرى، چېچىلىش ئورۇنلىرى ياكى پەردىنىڭ بىردەكلىكى ۋە ئىقتىدار ئىقتىدارىنى تۆۋەنلىتىدىغان نۇقسانلارنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن.
رېئاكتىپ پۈركۈش جەريانىدا، قالغان ئوكسىگېن ياكى ئازوت نىشان يۈزىنىڭ خىمىيىۋى تەركىبىنى ئۆزگەرتىپ، نىشان زەھەرلىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ ھادىسە پۈركۈش مىقدارى، پلازما خۇسۇسىيىتى ۋە چۆكۈش سۈرئىتىنى ئۆزگەرتىپ، قېلىنلىقىنىڭ تەكشى بولماسلىقى، ئوپتىكىلىق تۇراقلىقنىڭ ئۆزگىرىشى ۋە قاتتىقلىق ياكى يېپىشقاقلىق قاتارلىق مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. بۇ تەسىرلەر بولۇپمۇ يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى كۆپ قەۋەتلىك قاپلاملاردا كۆرۈنەرلىك بولۇپ، سىنىش كۆرسەتكۈچى ياكى يۇتۇشتىكى كىچىك پەرقلەر سپېكتىر ئىقتىدارىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ.
ئۇنىڭدىن باشقا، قالدۇق گاز بېسىمى ۋە تەركىبى پلازما مۇقىملىقى ۋە ئېنېرگىيە تەقسىملىنىشىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ. كامېر بېسىمىدىكى ئۆزگىرىشلەر ئىئونلىشىش دىنامىكىسى، ئوتتۇرىچە ئەركىن يول ۋە زەررىچە ئېنېرگىيەسىنى ئۆزگەرتىپ، پەردە زىچلىقى، يۈزەكى پۇراقلىق ۋە دانچە قۇرۇلمىسىغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. تۆۋەن بېسىملىق بۇلغىنىش چۆكمە ئۈنۈمىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن، رېئاكتىپ گازلارنىڭ قىسمەن بېسىمىنىڭ ئېشىشى بولسا، خىمىيىلىك رېئاكسىيەلەرنى تېزلىتىپ، ستېخىئومېتىرىيەلىك بولمىغان پەردىلەرنى ھاسىل قىلىشى ياكى ئىچكى بېسىمنى ئاشۇرۇشى مۇمكىن.
بۇ تەسىرلەرنى ئازايتىش ئۈچۈن، ۋاكۇئۇم قاپلاش سىستېمىسى قاتتىق كامېرا تەييارلاش ۋە ھەقىقىي ۋاقىتلىق نازارەت قىلىشنى بىرلەشتۈرىدۇ. تۇربومولېكۇلا ۋە توڭلىتىش پومپىلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالغان ئىنتايىن يۇقىرى ۋاكۇئۇم پومپىسى، كامېرانى تولۇق پىشۇرۇش ۋە ئاساسىي قاتلامنى ئالدىن بىر تەرەپ قىلىش بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ، قالدۇق گاز سەۋىيەسىنى تۆۋەنلىتىدۇ. ئورنىدىكى قالدۇق گاز ئانالىزاتورى (RGA) گاز تەركىبى توغرىسىدا ئۈزلۈكسىز ئىنكاس قايتۇرىدۇ، بۇ رېئاكتىپ گاز ئېقىمى، پلازما پارامېتىرلىرى ۋە چۆكمە مۇھىتىنى ئېنىق كونترول قىلىشقا يول قويىدۇ. بۇ تەدبىرلەر نېپىز پەردىلەرنىڭ لايىھەلەنگەن ئوپتىكىلىق تۇراقلىققا، مېخانىكىلىق پۈتۈنلۈككە ۋە ئۇزۇن مۇددەتلىك مۇقىملىققا ئېرىشىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
قىسقىسى، قالدۇق گازلار ۋاكۇئۇم قاپلاش جەريانلىرىدا نېپىز پەردە سۈپىتىنى بەلگىلەشتە مۇھىم ئامىل. ئۇلارنىڭ تەسىرى خىمىيىلىك تەركىب، مىكرو قۇرۇلما، ئوپتىكىلىق ئىقتىدار ۋە مېخانىكىلىق خۇسۇسىيەتلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. ئىلغار ۋاكۇئۇم تېخنىكىسى، جەرياننى نازارەت قىلىش ۋە كامېرا تەييارلاش ئارقىلىق قالدۇق گاز مىقدارىنى ئۈنۈملۈك كونترول قىلىش، ئوپتىكىلىق زاپچاسلار ۋە كۆرسىتىش ئۈسكۈنىلىرىدىن تارتىپ ئىقتىدارلىق قوغداش پەردىلىرىگىچە بولغان ھەر خىل سانائەت قوللىنىشچان پروگراممىلىرىدا قايتا ئىشلەتكىلى بولىدىغان، يۇقىرى ئىقتىدارلىق قاپلاشلارنى قولغا كەلتۈرۈش ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
-بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىجېنخۇا چاڭ-توزان سۈمۈرۈش ماشىنىسى
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2026-يىلى 3-ئاينىڭ 10-كۈنى