Mekhoa ea ho koahela ka vacuum, boteng balikhase tse setseng ka har'a kamore ea ho behae ka susumetsa haholo thepa ea sebopeho, ea optical, le ea mechini ea lifilimi tse tšesaane. Ebang ke lits'ebetsong tsa PVD, magnetron sputtering, ALD, kapa PECVD, mefuta ea khase e setseng—ho kenyeletsoa mouoane oa metsi, oksijene, naetrojene le li-hydrocarbon—e sebelisana le filimi e ntseng e hola le tikoloho ea plasma, e amang stoichiometry ea filimi, bongata, ho khomarela le ts'ebetso ea optical.
Mouoane oa metsi o setseng ke o mong oa litšila tsa bohlokoa ka ho fetisisa. Ho depositi ea filimi ea oxide kapa nitride, esita le bongata ba mongobo bo ka lebisa ho hydrolysis e sa laoleheng kapa liketso tsa oxidation holim'a substrate, e leng se fetolang stoichiometry e reriloeng ea lera le behiloeng. Sena se fella ka keketseho ea porosity, phokotso ea index ea refractive, le ho senyeha ha ponaletso ea optical kapa reflectivity. Ka mokhoa o ts'oanang, li-hydrocarbon tse hlahisitsoeng ho tsoa oli ea pompo, mabota a kamore, kapa lipotoloho tsa pele tsa ts'ebetso li ka kenyelletsoa ka har'a matrix ea filimi, tsa baka litsi tsa ho monya, libaka tsa ho hasanya, kapa likoli tse fokotsang ho tšoana ha filimi le ts'ebetso ea ts'ebetso.
Mekhoeng ea ho qhala ha metsi ka mokhoa o arabelang, oksijene e setseng kapa naetrojene e ka fetola k'hemistri ea bokaholimo ba shebiloeng, e leng se lebisang chefong ea shebiloeng. Ketsahalo ena e fetola chai ea qhala, litšobotsi tsa plasma, le sekhahla sa ho beoa ha metsi, e leng se fellang ka botenya bo sa lekanang, liphetoho tsa li-constant tsa optical, le thepa ea mechini e senyehileng joalo ka ho thatafala kapa ho khomarela. Litlamorao li bonahala haholo-holo ho li-coat tse nang le mekhahlelo e mengata tse nepahetseng haholo, moo ho kheloha ho honyenyane ho index ea refractive kapa ho monya ha metsi ho ka sitisang ts'ebetso ea spectral.
Ho feta moo, kgatello le sebopeho sa kgase e setseng di susumetsa botsitso ba plasma le kabo ya matla. Ho fetofetoha ha kgatello ya kamore ho fetola di-dynamics tsa ionization, tsela e mahareng ya mahala, le matla a dikarolwana, ho ama ho tiya ha filimi, ho ba thata ha bokahodimo, le sebopeho sa thollo. Tshilafalo ya kgatello e tlase e ka fokotsa bokgoni ba ho boloka, ha kgatello e phahameng ya karolo e itseng ya dikgase tse arabelang e ka potlakisa dikarabelo tse sa batleheng tsa dikhemikhale, ho hlahisa difilimi tse seng tsa stoichiometric kapa ho eketsa kgatello ya ka hare.
Ho fokotsa litlamorao tsena, litsamaiso tsa ho roala ka vacuum li kopanya ho lokisoa ha kamore ka thata le ho beha leihlo ka nako ea sebele. Ho pompa ka vacuum ho phahameng haholo, ho kenyeletsoa lipompo tsa turbomolecular le cryogenic, hammoho le ho baka ka botlalo ka kamoreng le kalafo ea pele ho substrate, ho fokotsa maemo a khase a setseng. Li-analyzer tsa khase tse setseng tse fumanehang ka har'a situ (RGA) li fana ka maikutlo a tsoelang pele mabapi le sebopeho sa khase, li lumella taolo e nepahetseng ea phallo ea khase e arabelang, liparamente tsa plasma le tikoloho ea ho beha. Litekanyetso tsena li netefatsa hore lifilimi tse tšesaane li fihlela li-constant tsa optical tse etselitsoeng, botšepehi ba mechini le botsitso ba nako e telele.
Ka bokhutšoanyane, likhase tse setseng ke ntlha ea bohlokoa ho khethoeng ha boleng ba filimi e tšesaane lits'ebetsong tsa ho koahela ka vacuum. Tšusumetso ea tsona e akaretsa sebopeho sa lik'hemik'hale, sebopeho sa micro, ts'ebetso ea optical, le thepa ea mechini. Taolo e sebetsang ea litaba tsa khase tse setseng ka theknoloji e tsoetseng pele ea vacuum, tlhokomelo ea ts'ebetso, le ho lokisoa ha kamore ho bohlokoa ho fihlela liphahlo tse ka hlahisoang hape, tse sebetsang hantle ho pholletsa le lits'ebetso tse fapaneng tsa indasteri, ho tloha likarolong tsa optical le lisebelisoa tsa ponts'o ho ea lifiliming tse sireletsang tse sebetsang.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Hlakubele-10-2026