Di teknolojiyên boyaxkirina valahiyê de, hebûnagazên mayî di hundirê odeya depokirinê dedikare bandorek girîng li ser taybetmendiyên avahî, optîkî û mekanîkî yên fîlmên tenik bike. Çi di pêvajoyên PVD, sputtering magnetron, ALD, an PECVD de be, cureyên gaza mayî - di nav de buhara avê, oksîjen, nîtrojen û hîdrokarbon - bi fîlma mezinbûyî û jîngeha plazmayê re têkilî daynin, bandorê li stoikyometrî, dendik, girêdan û performansa optîkî ya fîlmê dikin.
Buxara avê ya mayî di nav gemarên herî krîtîk de ye. Di danîna fîlmê oksît an nîtrîdê de, heta mîqdarên piçûk ên şilbûnê jî dikarin bibin sedema reaksiyonên hîdrolîz an oksîdasyonê yên bêkontrol li ser rûyê substratê, ku stoîkyometriya armanckirî ya qata danîne diguherîne. Ev dibe sedema zêdebûna porozîteyê, kêmbûna endeksa şikestinê, û şefafiyeta optîkî an jî refleksîfbûna xirab. Bi heman awayî, hîdrokarbonên ku ji rûnên pompê, dîwarên odeyê, an jî çerxên pêvajoyê yên berê têne anîn dikarin di nav matrîksa fîlmê de cih bigirin, bibin sedema navendên vegirtinê, cihên belavbûnê, an jî kêmasiyên ku yekrengiya fîlmê û performansa fonksiyonel kêm dikin.
Di pêvajoyên sputterkirina reaktîf de, oksîjena mayî an nîtrojen dikare kîmyaya rûyê hedefê biguherîne, û bibe sedema jehrîbûna hedefê. Ev diyarde rêjeya sputterkirinê, taybetmendiyên plazmayê û rêjeya danînê diguherîne, di encamê de qalindahiya neyekreng, guherînên di sabîtên optîkî de, û taybetmendiyên mekanîkî yên wekî hişkbûn an jî zeliqandinê xirab dibin. Bandor bi taybetî di pêçandinên pirqatî yên rastbûna bilind de diyar in, ku li wir cûdahiyên piçûk di endeksa şikestinê an jî vegirtinê de dikarin performansa spektral têk bibin.
Herwiha, zext û pêkhateya gaza mayî bandorê li ser aramiya plazmayê û belavkirina enerjiyê dike. Guhertinên di zexta odeyê de dînamîkên îyonîzasyonê, rêya azad a navîn, û enerjiya perçeyan diguherînin, bandorê li ser dendika fîlmê, hişkbûna rûyê, û avahiya daneyan dikin. Gemarîbûna bi zexta nizm dikare karîgeriya danîna wê kêm bike, di heman demê de zextên qismî yên bilind ên gazên reaktîf dikarin reaksiyonên kîmyewî yên nexwestî bilezînin, fîlmên ne-stoîkyometrîk çêbikin an jî stresa navxweyî zêde bikin.
Ji bo kêmkirina van bandoran, pergalên pêçandina valûyê amadekariyên odeyên hişk û çavdêriya rast-dem bi hev re entegre dikin. Pompkirina valûya pir-bilind, di nav de pompên turbomolekuler û krîyojenîk, digel pijandina tevahî ya odeyê û pêş-dermankirina substratê, asta gaza mayî kêm dike. Analîzkerên gaza mayî yên di cîh de (RGA) bersivên domdar li ser pêkhateya gazê peyda dikin, ku destûrê dide kontrola rast a herikîna gaza reaktîf, parametreyên plazmayê û jîngeha danînê. Ev pîvan piştrast dikin ku fîlimên tenik sabîtên optîkî yên sêwirandî, yekparçeyiya mekanîkî û aramiya demdirêj bi dest dixin.
Bi kurtasî, gazên mayî faktorek girîng in di destnîşankirina kalîteya fîlma zirav de di pêvajoyên pêçandina valûyê de. Bandora wan pêkhateya kîmyewî, mîkroavahî, performansa optîkî û taybetmendiyên mekanîkî digire nav xwe. Kontrolkirina bi bandor a naveroka gaza mayî bi rêya teknolojiya pêşkeftî ya valûyê, çavdêriya pêvajoyê û amadekirina odeyê ji bo bidestxistina pêçandinên dubarekirî û performansa bilind li seranserê sepanên pîşesaziyê yên cihêreng, ji pêkhateyên optîkî û cîhazên nîşandanê bigire heya fîlmên parastinê yên fonksiyonel, girîng e.
- Ev gotar ji hêla ... ve hatiye weşandin.hilberînerê alavên boyaxkirina valahiyêZhenhua Valahî
Dema şandinê: Adar-10-2026