Дар технологияҳои пӯшонидани вакуумӣ, мавҷудиятигазҳои боқимонда дар дохили камераи таҳшиншавӣметавонад ба хосиятҳои сохторӣ, оптикӣ ва механикии плёнкаҳои тунук таъсири назаррас расонад. Новобаста аз он ки дар равандҳои PVD, пошидани магнетронӣ, ALD ё PECVD, намудҳои боқимондаи газ, аз ҷумла буғи об, оксиген, нитроген ва гидрокарбонҳо, бо плёнкаи афзоянда ва муҳити плазма ҳамкорӣ мекунанд ва ба стехиометрияи плёнка, зичӣ, часпиш ва кори оптикии он таъсир мерасонанд.
Буғи боқимондаи об яке аз муҳимтарин ифлоскунандаҳо мебошад. Дар таҳшиншавии плёнкаи оксидӣ ё нитридӣ, ҳатто миқдори ками намӣ метавонад ба гидролизи беназорат ё реаксияҳои оксидшавӣ дар сатҳи субстрат оварда расонад ва стехиометрияи пешбинишудаи қабати таҳшиншударо тағйир диҳад. Ин боиси афзоиши сӯрохнокӣ, коҳиши нишондиҳандаи шикаст ва паст шудани шаффофияти оптикӣ ё инъикос мегардад. Ба ҳамин монанд, карбогидридҳое, ки аз равғанҳои насос, деворҳои камера ё давраҳои коркарди қаблӣ ворид мешаванд, метавонанд ба матритсаи плёнка ворид шаванд ва марказҳои ҷаббида, ҷойҳои парокандашавӣ ё нуқсонҳоеро ба вуҷуд оранд, ки якрангии плёнка ва кори функсионалиро коҳиш медиҳанд.
Дар равандҳои пошидани реактивӣ, оксиген ё нитрогени боқимонда метавонанд химияи сатҳи ҳадафро тағйир диҳанд, ки боиси заҳролудшавии ҳадаф мегардад. Ин падида ҳосили пошидани он, хусусиятҳои плазма ва суръати таҳшиншавиро тағйир медиҳад, ки боиси нобаробар шудани ғафсӣ, тағирёбии константаҳои оптикӣ ва вайрон шудани хосиятҳои механикӣ, ба монанди сахтӣ ё часпидан мегардад. Ин таъсирҳо махсусан дар рӯйпӯшҳои бисёрқабата бо дақиқии баланд ба назар мерасанд, ки дар онҳо инҳирофҳои ночиз дар нишондиҳандаи шикаст ё ҷаббида метавонанд ба кори спектр халал расонанд.
Ғайр аз ин, фишор ва таркиби гази боқимонда ба устувории плазма ва тақсимоти энергия таъсир мерасонад. Тағйирот дар фишори камера динамикаи ионизатсия, масири миёнаи озод ва энергияи зарраҳоро тағйир медиҳад ва ба зичии плёнка, ноҳамвории сатҳ ва сохтори доначаҳо таъсир мерасонад. Ифлосшавии фишори паст метавонад самаранокии таҳшиншавиро коҳиш диҳад, дар ҳоле ки фишори қисман баландшудаи газҳои реактивӣ метавонад аксуламалҳои номатлуби кимиёвиро суръат бахшад ва плёнкаҳои ғайристехиометрӣ ба вуҷуд орад ё фишори дохилиро афзоиш диҳад.
Барои кам кардани ин таъсирҳо, системаҳои пӯшонидани вакуумӣ омодасозии қатъии камера ва мониторинги вақти воқеиро муттаҳид мекунанд. Насоси вакуумии ултрабаланд, аз ҷумла насосҳои турбомолекулавӣ ва криогенӣ, дар якҷоягӣ бо пухтани ҳамаҷонибаи камера ва коркарди пешакии субстрат, сатҳи боқимондаи газро коҳиш медиҳад. Таҳлилгарони гази боқимонда дар ҷой (RGA) фикру мулоҳизаҳои пайвастаро дар бораи таркиби газ таъмин мекунанд, ки имкон медиҳад ҷараёни реактивии газ, параметрҳои плазма ва муҳити таҳшиншавӣ назорат карда шавад. Ин тадбирҳо кафолат медиҳанд, ки плёнкаҳои тунук ба константаҳои оптикии тарҳрезишуда, якпорчагии механикӣ ва устувории дарозмуддат ноил мегарданд.
Хулоса, газҳои боқимонда омили муҳим дар муайян кардани сифати плёнкаи тунук дар равандҳои пӯшонидани вакуумӣ мебошанд. Таъсири онҳо таркиби кимиёвӣ, микросохтор, кори оптикӣ ва хосиятҳои механикиро дар бар мегирад. Назорати самараноки миқдори гази боқимонда тавассути технологияи пешрафтаи вакуумӣ, мониторинги равандҳо ва омодасозии камера барои ба даст овардани пӯшонидани такроршаванда ва баландсифат дар барномаҳои гуногуни саноатӣ, аз ҷузъҳои оптикӣ ва дастгоҳҳои намоишӣ то плёнкаҳои муҳофизатии функсионалӣ, муҳим аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣЧангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 10 марти соли 2026