ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي ۾، جي موجودگيڊپوزيشن چيمبر اندر باقي گيسونپتلي فلمن جي ساخت، نظري ۽ مشيني خاصيتن تي خاص طور تي اثر انداز ٿي سگھي ٿو. ڇا PVD ۾، ميگنيٽرون اسپٽرنگ، ALD، يا PECVD عملن ۾، باقي گئس جون جنسون - جن ۾ پاڻي جو بخار، آڪسيجن، نائٽروجن، ۽ هائيڊرو ڪاربن شامل آهن - وڌندڙ فلم ۽ پلازما ماحول سان لهه وچڙ ڪن ٿيون، فلم اسٽوچيوميٽري، کثافت، آسنجن، ۽ نظري ڪارڪردگي کي متاثر ڪن ٿيون.
باقي پاڻي جي بخارات سڀ کان وڌيڪ نازڪ آلودگين مان هڪ آهي. آڪسائيڊ يا نائٽرائڊ فلم جي جمع ٿيڻ ۾، نمي جي مقدار جو به نشان لڳائڻ سان سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي بي قابو هائيڊولائيزيشن يا آڪسائيڊيشن رد عمل ٿي سگهي ٿو، جمع ٿيل پرت جي ارادي اسٽوچيوميٽري کي تبديل ڪري ٿو. ان جي نتيجي ۾ وڌايل پورسيٽي، گهٽ ريفريڪٽو انڊيڪس، ۽ خراب ٿيل آپٽيڪل شفافيت يا عڪاسي. ساڳئي طرح، پمپ آئل، چيمبر والز، يا اڳوڻي پروسيسنگ سائيڪلن مان متعارف ڪرايل هائيڊرو ڪاربن فلم ميٽرڪس ۾ شامل ٿي سگهن ٿا، جذب مرڪز، اسڪريٽرنگ سائيٽس، يا خرابيون پيدا ڪري سگهن ٿيون جيڪي فلم جي هڪجهڙائي ۽ ڪارڪردگي جي ڪارڪردگي کي گهٽائي ڇڏيندا آهن.
رد عمل واري اسپٽرنگ جي عملن ۾، باقي آڪسيجن يا نائٽروجن ٽارگيٽ مٿاڇري جي ڪيمسٽري کي تبديل ڪري سگهن ٿا، جنهن جي ڪري ٽارگيٽ پوائزننگ ٿئي ٿي. هي رجحان اسپٽر جي پيداوار، پلازما جي خاصيتن، ۽ جمع ڪرڻ جي شرح کي تبديل ڪري ٿو، جنهن جي نتيجي ۾ غير يونيفارم ٿولهه، آپٽيڪل مستقل ۾ تبديليون، ۽ سمجھوتي ٿيل ميڪيڪل خاصيتون جهڙوڪ سختي يا چپکڻ. اثرات خاص طور تي اعلي-صحت واري ملٽي ليئر ڪوٽنگن ۾ واضح آهن، جتي ريفريڪٽو انڊيڪس يا جذب ۾ معمولي انحراف اسپيڪٽرل ڪارڪردگي کي خراب ڪري سگهن ٿا.
ان کان علاوه، باقي گئس جو دٻاءُ ۽ بناوت پلازما جي استحڪام ۽ توانائي جي ورڇ تي اثر انداز ٿين ٿا. چيمبر جي دٻاءُ ۾ اتار چڙهاؤ آئنائيزيشن جي حرڪت، سراسري آزاد رستو، ۽ ذرڙن جي توانائي کي تبديل ڪن ٿا، فلم جي کثافت، مٿاڇري جي خرابي، ۽ اناج جي جوڙجڪ تي اثر انداز ٿين ٿا. گهٽ دٻاءُ واري آلودگي جمع ڪرڻ جي ڪارڪردگي کي گهٽائي سگهي ٿي، جڏهن ته رد عمل واري گئسن جو وڌايل جزوي دٻاءُ ناپسنديده ڪيميائي رد عمل کي تيز ڪري سگهي ٿو، غير اسٽوچيوميٽرڪ فلمون پيدا ڪري سگهي ٿو يا اندروني دٻاءُ وڌائي سگهي ٿو.
انهن اثرن کي گهٽائڻ لاءِ، ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم سخت چيمبر تيار ڪرڻ ۽ حقيقي وقت جي نگراني کي ضم ڪن ٿا. الٽرا هاءِ ويڪيوم پمپنگ، جنهن ۾ ٽربو ماليڪيولر ۽ ڪرائيوجينڪ پمپ شامل آهن، مڪمل چيمبر بيڪنگ ۽ سبسٽريٽ پري-ٽريٽمينٽ سان گڏ، بقايا گئس جي سطح کي گهٽائي ٿو. ان-سيٽو بقايا گئس اينالائيزر (RGA) گئس جي جوڙجڪ تي مسلسل موٽ ڏيندا آهن، رد عمل واري گئس جي وهڪري، پلازما پيرا ميٽرز، ۽ جمع ماحول جي صحيح ڪنٽرول جي اجازت ڏيندا آهن. اهي قدم يقيني بڻائين ٿا ته پتلي فلمون ٺهيل آپٽيڪل مستقل، ميڪيڪل سالميت، ۽ ڊگهي مدت جي استحڪام حاصل ڪن ٿيون.
خلاصو، ويڪيوم ڪوٽنگ جي عملن ۾ پتلي فلم جي معيار کي طئي ڪرڻ ۾ باقي گيسون هڪ اهم عنصر آهن. انهن جو اثر ڪيميائي ساخت، مائڪرو اسٽرڪچر، آپٽيڪل ڪارڪردگي، ۽ ميڪيڪل ملڪيتن تي پکڙيل آهي. جديد ويڪيوم ٽيڪنالاجي، پروسيس مانيٽرنگ، ۽ چيمبر جي تياري ذريعي باقي گيس جي مواد جو مؤثر ڪنٽرول مختلف صنعتي ايپليڪيشنن ۾، آپٽيڪل حصن ۽ ڊسپلي ڊوائيسز کان وٺي فنڪشنل حفاظتي فلمن تائين، ٻيهر پيدا ٿيندڙ، اعليٰ ڪارڪردگي واري ڪوٽنگ حاصل ڪرڻ لاءِ ضروري آهي.
-هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ سامان ٺاهيندڙزينهوا ويڪيوم
پوسٽ جو وقت: مارچ-10-2026