Tiknoolajiyada dahaarka faakuumka, joogitaankagaasaska haraaga ah ee ku jira qolka dhigistawaxay si weyn u saameyn kartaa sifooyinka qaabdhismeedka, indhaha, iyo farsamada ee filimada khafiifka ah. Hadday tahay PVD, hababka magnetron sputtering, ALD, ama PECVD, noocyada gaaska ee haray - oo ay ku jiraan uumiga biyaha, oksijiinta, nitrojiinta, iyo hydrocarbons - waxay la falgalaan filimka koraya iyo deegaanka balaasmaha, taasoo saameynaysa stoichiometry-ga filimka, cufnaanta, isku-dhejinta, iyo waxqabadka indhaha.
Uumiga biyaha ee haray ayaa ka mid ah wasakhda ugu muhiimsan. Kaydinta filimka oksaydhka ama nitride, xitaa qadarka qoyaanka ee raadku wuxuu keeni karaa falgallo aan la xakamayn oo ku dhaca dusha sare ee substrate-ka, taasoo beddesha stoichiometry-ga loogu talagalay ee lakabka la dhigay. Tani waxay keentaa daloolo badan, hoos u dhac ku yimaada tusmada refractive-ka, iyo hoos u dhaca hufnaanta ama milicsiga indhaha. Sidoo kale, hydrocarbons-ka laga soo saaro saliidaha bamka, derbiyada qolka, ama wareegyada hore ee farsamaynta ayaa ku dari kara shaxda filimka, taasoo keenta xarumaha nuugista, goobaha kala firdhisan, ama cilladaha yareeya midnimada filimka iyo waxqabadka shaqada.
Hawsha faafinta falgalka ah, oksijiinta haraaga ah ama nitrogen waxay wax ka beddeli kartaa kiimikada dusha sare ee bartilmaameedka ah, taasoo horseedaysa sunta bartilmaameedka. Dhacdadani waxay beddeshaa wax soo saarka tuufka, astaamaha balaasmaha, iyo heerka dhigista, taasoo keenta dhumuc aan isku mid ahayn, kala duwanaansho ku yimaada joogtada indhaha, iyo sifooyinka farsamada ee hoos u dhaca sida adkaanta ama dhegdheg. Saameyntu waxay si gaar ah ugu muuqataa dahaarka lakabka badan ee saxsan, halkaas oo leexashada yar ee tusmada refractive ama nuugista ay carqaladeyn karto waxqabadka muuqaalka.
Intaa waxaa dheer, cadaadiska gaaska ee haray iyo halabuurka ayaa saameeya xasilloonida balaasmaha iyo qaybinta tamarta. Isbeddellada cadaadiska qolka ayaa wax ka beddela dhaqdhaqaaqa ionization, wadada xorta ah ee celceliska, iyo tamarta walxaha, saameeya cufnaanta filimka, qallafsanaanta dusha sare, iyo qaab-dhismeedka hadhuudhka. Wasakhowga cadaadiska hooseeya wuxuu yareyn karaa hufnaanta dhigista, halka cadaadiska qayb ahaan ee sarreeya ee gaasaska falgalka ah ay dedejin karaan falgallada kiimikada ee aan loo baahnayn, iyagoo soo saaraya filimaan aan stoichiometric ahayn ama kordhinaya cadaadiska gudaha.
Si loo yareeyo saameyntan, nidaamyada dahaarka faakuumka waxay isku daraan diyaarinta qolka adag iyo la socodka waqtiga dhabta ah. Bamgareynta faakuumka aadka u sarreeya, oo ay ku jiraan bambooyinka turbomolecular iyo cryogenic, oo ay weheliso dubista qolka oo dhammaystiran iyo daaweynta ka hor, waxay yareysaa heerarka gaaska haray. Falanqeeyayaasha gaaska haray ee gudaha (RGA) waxay bixiyaan jawaab celin joogto ah oo ku saabsan halabuurka gaaska, taasoo u oggolaanaysa xakamaynta saxda ah ee socodka gaaska ee falgalka ah, xuduudaha balaasmaha, iyo deegaanka dhigista. Tallaabooyinkani waxay hubinayaan in filimada khafiifka ah ay gaaraan joogtada indhaha ee loogu talagalay, hufnaanta farsamada, iyo xasilloonida muddada dheer.
Marka la soo koobo, gaasaska haray waa qodob muhiim u ah go'aaminta tayada filimka khafiifka ah ee hababka dahaarka faakuumka. Saamayntoodu waxay ku fidsan tahay halabuurka kiimikada, qaab-dhismeedka yar yar, waxqabadka indhaha, iyo sifooyinka farsamada. Xakamaynta wax ku oolka ah ee waxa ku jira gaaska haraaga ah iyada oo loo marayo tignoolajiyada faakuumka ee horumarsan, la socodka habka, iyo diyaarinta qolka ayaa lagama maarmaan u ah in la gaaro dahaarka wax soo saar leh oo waxqabad sare leh oo ku baahsan codsiyada warshadaha kala duwan, laga bilaabo qaybaha indhaha iyo aaladaha bandhigga ilaa filimada ilaalinta ee shaqeynaya.
-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumkaFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Maarso-10-2026