I nā ʻenehana uhi vacuum, ke alo onā kinoea i koe i loko o ke keʻena waihohiki ke hoʻololi nui i nā waiwai kūkulu, optical, a me nā mechanical o nā ʻiliʻili lahilahi. Inā paha ma PVD, magnetron sputtering, ALD, a i ʻole nā kaʻina hana PECVD, nā ʻano kinoea koena—me ka mahu wai, oxygen, nitrogen, a me hydrocarbons—e launa pū me ka ʻiliʻili e ulu ana a me ke kaiapuni plasma, e hoʻopilikia ana i ka stoichiometry o ka ʻiliʻili, ka density, ka adhesion, a me ka hana optical.
ʻO ka mahu wai koena kekahi o nā mea haumia koʻikoʻi loa. I ka waiho ʻana o ka ʻili oxide a i ʻole nitride, ʻoiai ka nui o ka makū hiki ke alakaʻi i ka hydrolysis i kāohi ʻole ʻia a i ʻole nā hana oxidation ma ka ʻili substrate, e hoʻololi ana i ka stoichiometry i manaʻo ʻia o ka papa i waiho ʻia. ʻO ka hopena kēia i ka hoʻonui ʻia o ka porosity, ka hoʻemi ʻia ʻana o ka refractive index, a me ka hoʻohaʻahaʻa ʻia ʻana o ka optical transparency a i ʻole reflectivity. Pēlā nō, hiki i nā hydrocarbons i hoʻokomo ʻia mai nā aila pamu, nā paia keʻena, a i ʻole nā pōʻaiapuni hana mua ke hoʻokomo i loko o ka matrix kiʻiʻoniʻoni, e hana ana i nā kikowaena absorption, nā wahi hoʻopuehu, a i ʻole nā hemahema e hōʻemi ana i ke ʻano like o ka kiʻiʻoniʻoni a me ka hana hana.
I loko o nā kaʻina hana sputtering reactive, hiki i ke koena o ka oxygen a i ʻole ka naikokene ke hoʻololi i ke kemika o ka ʻili o ka pahuhopu, e alakaʻi ana i ka make ʻana o ka pahuhopu. Hoʻololi kēia hanana i ka hua sputter, nā ʻano plasma, a me ka helu deposition, e hopena ana i ka mānoanoa like ʻole, nā ʻokoʻa o nā constants optical, a me nā waiwai mechanical i hoʻopilikia ʻia e like me ka paʻakikī a i ʻole ka hoʻopili ʻana. Hōʻike nui ʻia nā hopena i nā uhi multilayer kiʻekiʻe, kahi e hiki ai i nā ʻokoʻa liʻiliʻi i ka refractive index a i ʻole ka absorption ke hoʻopilikia i ka hana spectral.
Eia kekahi, hoʻopilikia ke kaomi a me ka haku mele ʻana o ke kinoea i ke kūpaʻa plasma a me ka hoʻolaha ikehu. Hoʻololi nā loli o ke kaomi o ke keʻena i ka dynamics ionization, ke ala manuahi awelika, a me ka ikehu ʻāpana, e hoʻopilikia ana i ka densification o ke kiʻiʻoniʻoni, ka ʻoʻoleʻa o ka ʻili, a me ke ʻano o ka palaoa. Hiki i ka haumia haʻahaʻa ke hōʻemi i ka pono o ka waiho ʻana, ʻoiai ʻo nā kaomi hapa kiʻekiʻe o nā kinoea reactive hiki ke hoʻolalelale i nā hopena kemika i makemake ʻole ʻia, e hana ana i nā kiʻiʻoniʻoni non-stoichiometric a i ʻole e hoʻonui ana i ke kaumaha kūloko.
No ka hōʻemi ʻana i kēia mau hopena, hoʻohui nā ʻōnaehana uhi vacuum i ka hoʻomākaukau ʻana o ke keʻena koʻikoʻi a me ka nānā ʻana i ka manawa maoli. ʻO ka pumping vacuum kiʻekiʻe loa, me nā pamu turbomolecular a me cryogenic, i hui pū ʻia me ka hoʻomoʻa ʻana i ke keʻena a me ka mālama mua ʻana o ka substrate, e hōʻemi ana i nā pae kinoea koena. Hāʻawi nā mea kālailai kinoea koena In-situ (RGA) i ka manaʻo hoʻomau i ka haku mele kinoea, e ʻae ana i ka kaohi pololei o ke kahe kinoea reactive, nā palena plasma, a me ke kaiapuni deposition. Hōʻoia kēia mau ana e hoʻokō nā ʻiliʻili lahilahi i nā kūpaʻa optical i hoʻolālā ʻia, ka pono mechanical, a me ke kūpaʻa lōʻihi.
I ka hōʻuluʻulu manaʻo, he mea koʻikoʻi nā kinoea koena i ka hoʻoholo ʻana i ka maikaʻi o ka ʻili lahilahi i nā kaʻina hana uhi hakahaka. Hoʻopili ko lākou mana i ka haku mele kemika, ka microstructure, ka hana optical, a me nā waiwai mechanical. ʻO ka hoʻomalu pono ʻana i ka ʻike kinoea koena ma o ka ʻenehana vacuum holomua, ka nānā ʻana i ke kaʻina hana, a me ka hoʻomākaukau ʻana o ke keʻena he mea nui ia e hoʻokō i nā uhi hana hou, hana kiʻekiʻe ma nā ʻano hana ʻoihana like ʻole, mai nā ʻāpana optical a me nā mea hōʻike a hiki i nā kiʻiʻoniʻoni pale hana.
-Ua paʻi ʻia kēia ʻatikala emea hana lako uhi vacuumʻO Zhenhua Vacuum
Ka manawa hoʻouna: Malaki-10-2026