នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតបូមធូលី វត្តមាននៃឧស្ម័នដែលនៅសល់នៅក្នុងបន្ទប់ដាក់អាចមានឥទ្ធិពលយ៉ាងខ្លាំងទៅលើលក្ខណៈសម្បត្តិរចនាសម្ព័ន្ធ អុបទិក និងមេកានិចនៃខ្សែភាពយន្តស្តើងៗ។ មិនថានៅក្នុងដំណើរការ PVD, magnetron sputtering, ALD ឬ PECVD ទេ ប្រភេទឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ — រួមទាំងចំហាយទឹក អុកស៊ីសែន អាសូត និងអ៊ីដ្រូកាបូន — មានអន្តរកម្មជាមួយខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់ និងបរិស្ថានប្លាស្មា ដែលប៉ះពាល់ដល់ស្តូគីយ៉ូម៉ែត្រីរបស់ខ្សែភាពយន្ត ដង់ស៊ីតេ ភាពស្អិត និងដំណើរការអុបទិក។
ចំហាយទឹកដែលនៅសេសសល់ គឺជាសារធាតុចម្លងរោគដ៏សំខាន់បំផុត។ នៅក្នុងការដាក់ស្រទាប់អុកស៊ីដ ឬនីទ្រីត សូម្បីតែបរិមាណសំណើមតិចតួចក៏អាចនាំឱ្យមានប្រតិកម្មអ៊ីដ្រូលីស ឬអុកស៊ីតកម្មដែលមិនអាចគ្រប់គ្រងបាននៅលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលផ្លាស់ប្តូរស្តូគីយ៉ូម៉ែត្រីដែលបានគ្រោងទុកនៃស្រទាប់ដែលបានដាក់។ នេះបណ្តាលឱ្យមានការកើនឡើងនៃរន្ធញើស សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរថយចុះ និងការថយចុះតម្លាភាពអុបទិក ឬការឆ្លុះបញ្ចាំង។ ស្រដៀងគ្នានេះដែរ អ៊ីដ្រូកាបូនដែលបានបញ្ចូលពីប្រេងបូម ជញ្ជាំងបន្ទប់ ឬវដ្តដំណើរការមុនអាចបញ្ចូលទៅក្នុងម៉ាទ្រីសខ្សែភាពយន្ត ដែលបណ្តាលឱ្យមានមជ្ឈមណ្ឌលស្រូបយក កន្លែងខ្ចាត់ខ្ចាយ ឬពិការភាពដែលបន្ថយឯកសណ្ឋានខ្សែភាពយន្ត និងដំណើរការមុខងារ។
នៅក្នុងដំណើរការបញ្ចេញពន្លឺដែលមានប្រតិកម្ម អុកស៊ីសែន ឬអាសូតដែលនៅសេសសល់អាចកែប្រែគីមីវិទ្យាផ្ទៃគោលដៅ ដែលនាំឱ្យមានការពុលគោលដៅ។ បាតុភូតនេះផ្លាស់ប្តូរទិន្នផលបញ្ចេញពន្លឺ លក្ខណៈប្លាស្មា និងអត្រានៃការដាក់ស្រទាប់ ដែលបណ្តាលឱ្យមានកម្រាស់មិនស្មើគ្នា ការប្រែប្រួលនៃចំនួនថេរអុបទិក និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិចដែលចុះខ្សោយដូចជាភាពរឹង ឬការស្អិតជាប់។ ផលប៉ះពាល់ទាំងនេះត្រូវបានបញ្ជាក់ជាពិសេសនៅក្នុងថ្នាំកូតច្រើនស្រទាប់ដែលមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ ដែលគម្លាតតិចតួចនៃសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ឬការស្រូបយកអាចរំខានដល់ដំណើរការវិសាលគម។
លើសពីនេះ សម្ពាធឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ និងសមាសធាតុមានឥទ្ធិពលលើស្ថេរភាពប្លាស្មា និងការចែកចាយថាមពល។ ការប្រែប្រួលនៃសម្ពាធបន្ទប់កែប្រែឌីណាមិកអ៊ីយ៉ូដនីយកម្ម ផ្លូវសេរីមធ្យម និងថាមពលភាគល្អិត ដែលប៉ះពាល់ដល់ដង់ស៊ីតេខ្សែភាពយន្ត ភាពរដុបនៃផ្ទៃ និងរចនាសម្ព័ន្ធគ្រាប់ធញ្ញជាតិ។ ការបំពុលសម្ពាធទាបអាចកាត់បន្ថយប្រសិទ្ធភាពនៃការដាក់ស្រទាប់ ខណៈពេលដែលសម្ពាធផ្នែកខ្ពស់នៃឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មអាចបង្កើនល្បឿនប្រតិកម្មគីមីដែលមិនចង់បាន បង្កើតខ្សែភាពយន្តមិនមែនស្តូគីយ៉ូម៉ែត្រិច ឬបង្កើនភាពតានតឹងខាងក្នុង។
ដើម្បីកាត់បន្ថយផលប៉ះពាល់ទាំងនេះ ប្រព័ន្ធថ្នាំកូតសុញ្ញากาศរួមបញ្ចូលការរៀបចំបន្ទប់យ៉ាងម៉ត់ចត់ និងការត្រួតពិនិត្យពេលវេលាជាក់ស្តែង។ ការបូមសុញ្ញากาศកម្រិតខ្ពស់បំផុត រួមទាំងម៉ាស៊ីនបូម turbomolecular និង cryogenic រួមផ្សំជាមួយនឹងការដុតនំបន្ទប់យ៉ាងហ្មត់ចត់ និងការព្យាបាលស្រទាប់ខាងក្រោមជាមុន កាត់បន្ថយកម្រិតឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់។ ឧបករណ៍វិភាគឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់នៅនឹងកន្លែង (RGA) ផ្តល់នូវមតិប្រតិកម្មជាបន្តបន្ទាប់លើសមាសភាពឧស្ម័ន ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានការគ្រប់គ្រងយ៉ាងច្បាស់លាស់នៃលំហូរឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្ម ប៉ារ៉ាម៉ែត្រប្លាស្មា និងបរិស្ថាននៃការដាក់។ វិធានការទាំងនេះធានាថាខ្សែភាពយន្តស្តើងសម្រេចបាននូវថេរអុបទិកដែលបានរចនាឡើង ភាពសុចរិតមេកានិច និងស្ថេរភាពរយៈពេលវែង។
សរុបមក ឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់គឺជាកត្តាសំខាន់មួយក្នុងការកំណត់គុណភាពខ្សែភាពយន្តស្តើងនៅក្នុងដំណើរការថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស។ ឥទ្ធិពលរបស់វាគ្របដណ្តប់លើសមាសធាតុគីមី មីក្រូស្ត្រុកទ័រ ប្រសិទ្ធភាពអុបទិក និងលក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិច។ ការគ្រប់គ្រងប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពនៃមាតិកាឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់តាមរយៈបច្ចេកវិទ្យាសុញ្ញកាសទំនើប ការត្រួតពិនិត្យដំណើរការ និងការរៀបចំបន្ទប់គឺមានសារៈសំខាន់ដើម្បីសម្រេចបាននូវថ្នាំកូតដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ និងអាចផលិតឡើងវិញបាននៅទូទាំងកម្មវិធីឧស្សាហកម្មចម្រុះ ចាប់ពីសមាសធាតុអុបទិក និងឧបករណ៍បង្ហាញរហូតដល់ខ្សែភាពយន្តការពារដែលមានមុខងារ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលីម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១០ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៦