Na teknụzụ mkpuchi ihe mkpofu, ọnụnọ nkegas ndị fọdụrụ n'ime ụlọ nkwụnye egonwere ike imetụta nnukwu ihe owuwu, anya, na ihe eji arụ ọrụ nke ihe nkiri dị gịrịgịrị. Ma ọ bụ na PVD, magnetron sputtering, ALD, ma ọ bụ PECVD usoro, ụdị gas fọdụrụnụ—gụnyere uzuoku mmiri, oxygen, nitrogen, na hydrocarbons—na-akpakọrịta na ihe nkiri na-eto eto na gburugburu plasma, na-emetụta stoichiometry ihe nkiri, njupụta, njikọta, na arụmọrụ anya.
Uzu mmiri fọdụrụ so n'ime ihe ndị kacha njọ. N'ihe gbasara ihe nkiri oxide ma ọ bụ nitride, ọbụna obere mmiri nwere ike ibute mmeghachi omume hydrolysis ma ọ bụ oxidation na elu substrate, na-agbanwe stoichiometry ebumnuche nke oyi akwa echekwara. Nke a na-ebute mmụba nke porosity, mbelata ihe ngosi refractive, na mmebi nke nghọta anya ma ọ bụ reflectivity. N'otu aka ahụ, hydrocarbons ewebatara site na mmanụ mgbapụta, mgbidi ụlọ, ma ọ bụ usoro nhazi gara aga nwere ike itinye na matrix fim ahụ, na-akpata ebe nnabata, ebe mgbasa, ma ọ bụ ntụpọ ndị na-ebelata otu ihe nkiri na arụmọrụ ọrụ.
N'ime usoro sputtering reactive, oxygen ma ọ bụ nitrogen fọdụrụnụ nwere ike ịgbanwe kemịkalụ elu ebumnuche, na-eduga na nsị ebumnuche. Ihe a na-agbanwe mmepụta sputter, njirimara plasma, na ọnụego nkwụnye, na-ebute ọkpụrụkpụ na-abụghị otu, mgbanwe na ihe ndị na-agbanwe agbanwe anya, na ihe ndị metụtara igwe dịka ike ma ọ bụ njikọta. Mmetụta ndị a na-apụta ìhè karịsịa na mkpuchi multilayer dị elu, ebe obere mgbanwe na refractive index ma ọ bụ absorption nwere ike imebi arụmọrụ spectral.
Ọzọkwa, nrụgide gas fọdụrụnụ na ihe mejupụtara ya na-emetụta nkwụsi ike na nkesa ike plasma. Mgbanwe na nrụgide ụlọ na-agbanwe usoro ionization, ụzọ efu nkezi, na ike ihe dị n'ime, na-emetụta njupụta ihe nkiri, oke iru ala, na nhazi ọka. Mmetọ nrụgide dị ala nwere ike ibelata arụmọrụ itinye ihe, ebe nrụgide akụkụ nke gas reactive nwere ike ime ngwa ngwa mmeghachi omume kemịkalụ na-achọghị, na-emepụta ihe nkiri na-abụghị stoichiometric ma ọ bụ na-abawanye nrụgide dị n'ime.
Iji belata mmetụta ndị a, sistemụ mkpuchi oghere na-ejikọta nkwadebe siri ike na nlekota oge. Mgbapụta oghere dị elu nke ukwuu, gụnyere ọkpọkọ turbomolecular na cryogenic, yana ịsacha ụlọ zuru oke na substrate tupu ọgwụgwọ, na-ebelata ọkwa gas fọdụrụ. Ndị na-enyocha gas fọdụrụ n'ime ụlọ (RGA) na-enye nzaghachi na-aga n'ihu na nhazi gas, na-enye ohere njikwa ziri ezi nke mmiri gas na-emegharị ahụ, paramita plasma, na gburugburu ebe a na-edebe ihe. Usoro ndị a na-eme ka ihe nkiri dị gịrịgịrị nweta ihe ndị na-agbanwe agbanwe anya, iguzosi ike n'ezi ihe nke igwe, na nkwụsi ike ogologo oge.
Na nchịkọta, gas ndị fọdụrụ bụ ihe dị oke mkpa n'ịchọpụta ịdị mma nke ihe nkiri dị gịrịgịrị na usoro mkpuchi oghere. Mmetụta ha na-emetụta nhazi kemịkalụ, obere nhazi, arụmọrụ anya, na ihe ndị dị na igwe. Njikwa dị irè nke ọdịnaya gas fọdụrụ site na teknụzụ oghere dị elu, nlekota usoro, na nkwadebe ụlọ dị mkpa iji nweta mkpuchi arụmọrụ dị elu a pụrụ imegharị n'ofe ngwa ụlọ ọrụ dị iche iche, site na ihe ndị dị na ngwa anya na ngwaọrụ ngosipụta ruo na fim nchebe ọrụ.
-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaonye nrụpụta akụrụngwa mkpuchi ikukuZhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-10-2026