A cikin fasahar shafa fenti, kasancewariskar gas da ke cikin ɗakin ajiyar kayazai iya yin tasiri sosai ga halayen tsari, gani, da na inji na siririn fina-finai. Ko a cikin tsarin PVD, magnetron sputtering, ALD, ko PECVD, nau'in iskar gas da ya rage - gami da tururin ruwa, iskar oxygen, nitrogen, da hydrocarbons - suna hulɗa da fim ɗin da ke girma da muhallin plasma, suna shafar stoichiometry na fim, yawan yawa, mannewa, da aikin gani.
Tushen ruwa na ɗaya daga cikin gurɓatattun abubuwa mafi mahimmanci. A cikin ajiyar fim ɗin oxide ko nitride, har ma da ɗanɗanon danshi na iya haifar da hydrolysis ko amsawar iskar shaka a saman substrate, yana canza yanayin da aka yi niyya na Layer ɗin da aka ajiye. Wannan yana haifar da ƙaruwar porosity, raguwar ma'aunin haske, da kuma raguwar haske ko haske. Hakazalika, hydrocarbons da aka shigar daga mai famfo, bangon ɗakin, ko zagayowar sarrafawa na baya na iya haɗawa cikin matrix ɗin fim ɗin, yana haifar da cibiyoyin sha, wuraren warwatse, ko lahani waɗanda ke rage daidaiton fim da aikin aiki.
A cikin hanyoyin fitar da iskar oxygen mai amsawa, iskar oxygen ko nitrogen da suka rage na iya canza sinadaran saman da aka nufa, wanda ke haifar da gubar da aka nufa. Wannan lamari yana canza yawan fitar da iskar sputter, halayen plasma, da kuma yawan ajiyar abubuwa, wanda ke haifar da kauri mara daidaito, bambance-bambance a cikin abubuwan da ke cikin gani, da kuma lalacewar halayen injiniya kamar tauri ko mannewa. Tasirin yana bayyana musamman a cikin rufin da ke da daidaito da yawa, inda ƙananan karkacewa a cikin ma'aunin refractive ko sha na iya kawo cikas ga aikin spectral.
Bugu da ƙari, matsin iskar gas da ya rage da kuma abubuwan da ke cikinsa suna tasiri ga daidaiton plasma da rarraba makamashi. Sauye-sauyen matsin lamba a cikin ɗakin suna canza yanayin ionization, matsakaicin hanyar 'yanci, da kuzarin barbashi, yana tasiri ga yawan fim, rashin kyawun saman, da tsarin hatsi. Gurɓatar ƙarancin matsin lamba na iya rage ingancin ajiya, yayin da hauhawar matsin lamba na iskar gas mai amsawa na iya hanzarta halayen sinadarai da ba a so, samar da fina-finan da ba na stoichiometric ba ko ƙara damuwa ta ciki.
Don rage waɗannan tasirin, tsarin rufewa na injin yana haɗa shirye-shiryen ɗaki mai tsauri da sa ido a ainihin lokaci. Famfo mai ƙarfi, gami da famfunan turbomolecular da cryogenic, tare da cikakken yin burodi na ɗakin da kuma maganin substrate kafin a fara amfani da shi, yana rage matakan iskar gas da suka rage. Masu nazarin iskar gas na cikin gida (RGA) suna ba da ra'ayi akai-akai kan abubuwan da ke cikin iskar gas, suna ba da damar sarrafa kwararar iskar gas mai amsawa, sigogin plasma, da yanayin ajiya. Waɗannan matakan suna tabbatar da cewa siririn fim ɗin sun cimma daidaitattun abubuwan gani, amincin injin, da kwanciyar hankali na dogon lokaci.
A taƙaice, iskar gas da ta rage suna da matuƙar muhimmanci wajen tantance ingancin fim ɗin siriri a cikin tsarin rufewa ta injin. Tasirinsu ya shafi abubuwan da ke cikin sinadarai, tsarin ƙananan halittu, aikin gani, da kuma halayen injina. Ingantaccen iko kan abubuwan da ke cikin iskar gas ta hanyar fasahar injin mai ci gaba, sa ido kan tsari, da kuma shirya ɗaki yana da mahimmanci don cimma rufin da za a iya sake samarwa, mai inganci a fannoni daban-daban na masana'antu, daga abubuwan gani da na'urorin nuni zuwa fina-finan kariya masu aiki.
-An buga wannan labarin ne ta hannunƙera kayan aikin rufin injin injinInjin tsabtace Zhenhua
Lokacin Saƙo: Maris-10-2026