රික්ත ආලේපන තාක්ෂණයන්හි, පැවතීමතැන්පත් කිරීමේ කුටිය තුළ ඇති අවශේෂ වායූන්තුනී පටලවල ව්යුහාත්මක, දෘශ්ය සහ යාන්ත්රික ගුණාංග කෙරෙහි සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑම් කළ හැකිය. PVD, මැග්නට්රෝන ස්පුටරින්, ALD හෝ PECVD ක්රියාවලීන්හිදී වේවා, ජල වාෂ්ප, ඔක්සිජන්, නයිට්රජන් සහ හයිඩ්රොකාබන ඇතුළු අවශේෂ වායු විශේෂ - වැඩෙන පටලය සහ ප්ලාස්මා පරිසරය සමඟ අන්තර් ක්රියා කරයි, පටල ස්ටොයිකියෝමිතිය, ඝනත්වය, ඇලවීම සහ දෘශ්ය ක්රියාකාරිත්වයට බලපායි.
අවශේෂ ජල වාෂ්ප වඩාත් තීරණාත්මක දූෂක අතර වේ. ඔක්සයිඩ් හෝ නයිට්රයිඩ් පටල තැන්පත් වීමේදී, තෙතමනයේ අංශු මාත්ර ප්රමාණයක් පවා උපස්ථර මතුපිට පාලනයකින් තොරව ජල විච්ඡේදනය හෝ ඔක්සිකරණ ප්රතික්රියා වලට තුඩු දිය හැකි අතර, තැන්පත් කරන ලද ස්ථරයේ අපේක්ෂිත ස්ටොයිකියෝමිතිය වෙනස් කරයි. මෙය සිදුරු වැඩි වීම, වර්තන දර්ශකය අඩු වීම සහ දෘශ්ය විනිවිදභාවය හෝ පරාවර්තනය පිරිහීම ඇති කරයි. ඒ හා සමානව, පොම්ප තෙල්, කුටීර බිත්ති හෝ පෙර සැකසුම් චක්රවලින් හඳුන්වා දෙන හයිඩ්රොකාබන පටල අනුකෘතියට ඇතුළත් විය හැකි අතර, අවශෝෂණ මධ්යස්ථාන, විසිරුම් ස්ථාන හෝ පටල ඒකාකාරිත්වය සහ ක්රියාකාරී ක්රියාකාරිත්වය අඩු කරන දෝෂ ඇති කරයි.
ප්රතික්රියාශීලී ඉසින ක්රියාවලීන්හිදී, අවශේෂ ඔක්සිජන් හෝ නයිට්රජන් ඉලක්ක මතුපිට රසායන විද්යාව වෙනස් කළ හැකි අතර එය ඉලක්ක විෂ වීමට හේතු වේ. මෙම සංසිද්ධිය ඉසින අස්වැන්න, ප්ලාස්මා ලක්ෂණ සහ තැන්පත් වීමේ අනුපාතය වෙනස් කරන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ඒකාකාර නොවන ඝණකම, දෘශ්ය නියතයන්හි වෙනස්කම් සහ දෘඪතාව හෝ ඇලවීම වැනි සම්මුතිගත යාන්ත්රික ගුණාංග ඇති වේ. වර්තන දර්ශකයේ හෝ අවශෝෂණයේ සුළු අපගමනයන් වර්ණාවලි ක්රියාකාරිත්වයට බාධා කළ හැකි ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් බහු ස්ථර ආලේපනවල බලපෑම් විශේෂයෙන් ප්රකාශ වේ.
එපමණක් නොව, අවශේෂ වායු පීඩනය සහ සංයුතිය ප්ලාස්මා ස්ථායිතාවයට සහ ශක්ති ව්යාප්තියට බලපායි. කුටීර පීඩනයේ උච්චාවචනයන් අයනීකරණ ගතිකය, මධ්යන්ය නිදහස් මාර්ගය සහ අංශු ශක්තිය වෙනස් කරයි, පටල ඝනත්වය, මතුපිට රළුබව සහ ධාන්ය ව්යුහයට බලපායි. අඩු පීඩන දූෂණය තැන්පත් කිරීමේ කාර්යක්ෂමතාව අඩු කළ හැකි අතර, ප්රතික්රියාශීලී වායූන්ගේ ඉහළ ගිය අර්ධ පීඩන අනවශ්ය රසායනික ප්රතික්රියා වේගවත් කළ හැකි අතර, ස්ටොයිකියෝමිතික නොවන පටල නිපදවයි හෝ අභ්යන්තර ආතතිය වැඩි කරයි.
මෙම බලපෑම් අවම කිරීම සඳහා, රික්ත ආලේපන පද්ධති දැඩි කුටීර සකස් කිරීම සහ තත්ය කාලීන අධීක්ෂණය ඒකාබද්ධ කරයි. ටර්බෝමොලිකියුලර් සහ ක්රයොජනික් පොම්ප ඇතුළුව අතිශය ඉහළ රික්තක පොම්ප කිරීම, සම්පූර්ණ කුටීර පිළිස්සීම සහ උපස්ථර පූර්ව ප්රතිකාර සමඟ ඒකාබද්ධව, අවශේෂ වායු මට්ටම් අඩු කරයි. ස්ථානීය අවශේෂ වායු විශ්ලේෂක (RGA) වායු සංයුතිය පිළිබඳ අඛණ්ඩ ප්රතිපෝෂණ සපයන අතර, ප්රතික්රියාශීලී වායු ප්රවාහය, ප්ලාස්මා පරාමිතීන් සහ තැන්පත් පරිසරය නිවැරදිව පාලනය කිරීමට ඉඩ සලසයි. මෙම පියවරයන් තුනී පටල නිර්මාණය කරන ලද දෘශ්ය නියතයන්, යාන්ත්රික අඛණ්ඩතාව සහ දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වය ලබා ගැනීම සහතික කරයි.
සාරාංශයක් ලෙස, අවශේෂ වායු රික්ත ආලේපන ක්රියාවලීන්හි තුනී පටල ගුණාත්මකභාවය තීරණය කිරීමේදී තීරණාත්මක සාධකයකි. ඒවායේ බලපෑම රසායනික සංයුතිය, ක්ෂුද්ර ව්යුහය, දෘශ්ය ක්රියාකාරිත්වය සහ යාන්ත්රික ගුණාංග දක්වා විහිදේ. දෘශ්ය සංරචක සහ ප්රදර්ශන උපාංගවල සිට ක්රියාකාරී ආරක්ෂිත පටල දක්වා විවිධ කාර්මික යෙදුම් හරහා ප්රතිනිෂ්පාදනය කළ හැකි, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ආලේපන ලබා ගැනීම සඳහා උසස් රික්ත තාක්ෂණය, ක්රියාවලි අධීක්ෂණය සහ කුටීර සකස් කිරීම හරහා අවශේෂ වායු අන්තර්ගතය ඵලදායී ලෙස පාලනය කිරීම අත්යවශ්ය වේ.
-මෙම ලිපිය ප්රකාශයට පත් කරන ලද්දේරික්තක ආලේපන උපකරණ නිෂ්පාදකයාෂෙන්හුවා රික්තකය
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-10-2026