O le A'afiaga o Kasa Toega i Meatotino Manifinifi o Ata Tifaga i Fa'agasologa o le Ufiufi Vacuum

I tekinolosi ufiufi gaogao, o le i ai okasa totoe i totonu o le potu e teu aie mafai ona a'afia tele ai le fausaga, opitika, ma meatotino fa'amekanika o ata manifinifi. Pe o le PVD, magnetron sputtering, ALD, po'o le PECVD processes, o kasa o totoe—e aofia ai le ausa vai, okesene, nitrogen, ma hydrocarbons—e fegalegaleai ma le ata tuputupu a'e ma le siosiomaga plasma, e a'afia ai le stoichiometry o le ata, le mafiafia, le pipii, ma le fa'atinoga opitika.

O le ausa vai o totoe o se tasi o mea e sili ona mata'utia. I le fa'aputuina o le ata tifaga o le oxide po'o le nitride, e o'o lava i sina susu itiiti e mafai ona o'o atu ai i le hydrolysis e le pulea po'o le tali atu i le oxidation i luga o le substrate, ma suia ai le stoichiometry fuafuaina o le vaega ua fa'aputuina. O lenei mea e mafua ai le fa'ateleina o le porosity, fa'aitiitia le refractive index, ma fa'aleagaina ai le optical transparency po'o le reflectivity. I se tulaga tutusa, o hydrocarbons e fa'aofi mai pamu suau'u, puipui o potu, po'o ta'amilosaga fa'agasolo muamua e mafai ona fa'apipi'i i totonu o le matrix o le ata tifaga, ma mafua ai nofoaga e mitiia ai, nofoaga e fa'asalalauina ai, po'o ni fa'aletonu e fa'aitiitia ai le tutusa o le ata tifaga ma le fa'atinoga o galuega.

I faiga o le reactive sputtering, e mafai e le okesene po'o le nitrogen o totoe ona suia le kemisi o le fogāeleele o le sini, ma i'u ai i le fa'a'ona o le sini. O lenei mea e suia ai le sputter yield, uiga o le plasma, ma le fua faatatau o le deposition, ma i'u ai i le le tutusa o le mafiafia, suiga i le optical constants, ma fa'aletonu ai meatotino fa'ainisinia e pei o le ma'a'a po'o le pipii. E matua'i iloga lava aafiaga i ufiufi multilayer e maualuga le sa'o, lea e mafai ai e ni nai eseesega laiti i le refractive index po'o le absorption ona fa'alavelaveina ai le fa'atinoga o le spectral.

E le gata i lea, o le mamafa ma le tuufaatasiga o kasa o totoe e aʻafia ai le mautu o le plasma ma le tufatufaina atu o le malosi. O suiga i le mamafa o le potu e suia ai le ionization dynamics, averesi o le auala saoloto, ma le malosi o le vaega, e aʻafia ai le faʻamaʻaʻaina o le ata tifaga, le maʻalili o le fogaeleele, ma le fausaga o fatu. O le faʻaleagaina o le mamafa maualalo e ono faʻaitiitia ai le lelei o le teuina, ae o le maualuga o le mamafa o vaega o kasa tali atu e mafai ona faʻavavevaveina ai tali faʻakemikolo e le manaʻomia, ma maua ai ata tifaga e le o stoichiometric pe faʻateleina ai le atuatuvale i totonu.

Ina ia faʻaitiitia nei aafiaga, o faiga ufiufi o le vacuum e faʻapipiʻi ai le sauniuniga maeʻaeʻa o le potu ma le mataʻituina i le taimi moni. O le pamuina o le vacuum e matua maualuga lava, e aofia ai pamu turbomolecular ma pamu cryogenic, faʻatasi ai ma le taoina maeʻaeʻa o le potu ma le togafitiga muamua o le substrate, e faʻaitiitia ai le maualuga o le kesi o totoe. O masini suʻesuʻe kesi o totoe i totonu (RGA) e tuʻuina atu ai le faʻamatalaga faifai pea i le tuufaatasiga o kesi, e mafai ai ona pulea saʻo le tafe o le kesi tali atu, faʻasologa o le plasma, ma le siosiomaga o le teuina. O nei fuataga e faʻamautinoa ai o ata manifinifi e ausia ai le tulaga opitika ua mamanuina, le faʻamaoni faʻainisinia, ma le mautu i se taimi umi.

I se aotelega, o kasa o totoe o se mea taua tele i le fuafuaina o le lelei o le ata manifinifi i faiga o le ufiufiina o le vacuum. O latou aafiaga e aofia ai le tuufaatasiga o vailaʻau, fausaga laiti, faatinoga opitika, ma meatotino faʻainisinia. O le pulea lelei o mea o totoe o kasa e ala i tekinolosi faʻaonaponei o le vacuum, le mataʻituina o le faagasologa, ma le sauniuniga o potu e taua tele ina ia maua ai ni ufiufi e mafai ona toe gaosia ma maualuga le faatinoga i le tele o faʻaoga faʻapisinisi, mai vaega opitika ma masini faʻaaliga i ata puipui aoga.

-O lenei tusiga na lomia egaosi oloa meafaigaluega ufiufi mo le vacuumVacuum a Zhenhua