የቀሪ ጋዞች በቫክዩም ሽፋን ሂደቶች ላይ በቀጭን ፊልም ባህሪያት ላይ ያላቸው ተጽእኖ

በቫክዩም ሽፋን ቴክኖሎጂዎች ውስጥ፣በማጠራቀሚያ ክፍሉ ውስጥ የሚቀሩ ጋዞችቀጭን ፊልሞችን መዋቅራዊ፣ ኦፕቲካል እና ሜካኒካል ባህሪያት ላይ ከፍተኛ ተጽዕኖ ሊያሳድር ይችላል። በPVD፣ ማግኔትሮን ስፑተርሪንግ፣ ALD ወይም PECVD ሂደቶች ውስጥ፣ የውሃ ትነት፣ ኦክስጅን፣ ናይትሮጅን እና ሃይድሮካርቦኖችን ጨምሮ የቀሪ ጋዝ ዝርያዎች ከሚበቅለው ፊልም እና ከፕላዝማ አካባቢ ጋር መስተጋብር ይፈጥራሉ፣ ይህም የፊልም ስቶይቺዮሜትሪ፣ ጥግግት፣ ማጣበቅ እና የኦፕቲካል አፈጻጸምን ይነካል።

የተረፈው የውሃ ትነት በጣም ወሳኝ ከሆኑ ብክለቶች መካከል አንዱ ነው። በኦክሳይድ ወይም በናይትሬድ ፊልም ክምችት ውስጥ፣ የእርጥበት መጠን እንኳን በንጣፉ ወለል ላይ ቁጥጥር ያልተደረገበት ሃይድሮሊሲስ ወይም የኦክሳይድ ግብረመልሶችን ሊያስከትል ይችላል፣ ይህም የተቀመጠው ንብርብር የታሰበውን ስቶይቺዮሜትሪ ይለውጣል። ይህም የጨመረ ቀዳዳ፣ የማጣቀሻ ኢንዴክስ መቀነስ እና የተበላሸ የኦፕቲካል ግልጽነት ወይም አንጸባራቂነት ያስከትላል። በተመሳሳይ፣ ከፓምፕ ዘይቶች፣ ከክፍል ግድግዳዎች ወይም ከቀደምት የማቀነባበሪያ ዑደቶች የሚመጡ ሃይድሮካርቦኖች በፊልም ማትሪክስ ውስጥ ሊካተቱ ይችላሉ፣ ይህም የመምጠጥ ማዕከሎችን፣ የመበተን ቦታዎችን ወይም የፊልም ወጥነትን እና የተግባር አፈፃፀምን የሚቀንሱ ጉድለቶችን ያስከትላል።

በተለዋዋጭ የስፐተር ሂደቶች ውስጥ፣ የተረፈ ኦክስጅን ወይም ናይትሮጅን የታለመውን የገጽታ ኬሚስትሪ ሊለውጠው ይችላል፣ ይህም ወደ ኢላማ መመረዝ ሊያመራ ይችላል። ይህ ክስተት የአፕተር ምርትን፣ የፕላዝማ ባህሪያትን እና የተከማቸ መጠንን ይለውጣል፣ ይህም ወጥ ያልሆነ ውፍረት፣ የኦፕቲካል ቋሚዎች ልዩነቶች እና እንደ ጥንካሬ ወይም ማጣበቂያ ያሉ የሜካኒካል ባህሪያትን ያስከትላል። ውጤቶቹ በተለይ በከፍተኛ ትክክለኛነት ባላቸው ባለብዙ ሽፋን ሽፋኖች ላይ ይገለፃሉ፣ በዚህም ምክንያት በማንጸባረቅ ኢንዴክስ ወይም በመምጠጥ ላይ ያሉ ጥቃቅን ልዩነቶች የስፔክትራል አፈጻጸምን ሊያበላሹ ይችላሉ።

ከዚህም በላይ የተረፈ የጋዝ ግፊት እና ቅንብር በፕላዝማ መረጋጋት እና በኢነርጂ ስርጭት ላይ ተጽዕኖ ያሳድራሉ። በክፍል ግፊት ውስጥ ያሉ መለዋወጥ የአዮኒዜሽን ተለዋዋጭነትን፣ አማካይ ነፃ መንገድን እና የቅንጣት ኃይልን ይለውጣል፣ የፊልም ጥግግት፣ የገጽታ ሸካራነት እና የእህል መዋቅርን ይነካል። ዝቅተኛ ግፊት ያለው ብክለት የመቀመጫ ቅልጥፍናን ሊቀንስ ይችላል፣ የሪአክቲቭ ጋዞች ከፊል ግፊት መጨመር ደግሞ የማይፈለጉ የኬሚካል ግብረመልሶችን ሊያፋጥን፣ ስቶይቺዮሜትሪክ ያልሆኑ ፊልሞችን ሊያመነጭ ወይም ውስጣዊ ውጥረትን ሊጨምር ይችላል።

እነዚህን ተፅእኖዎች ለመቀነስ፣ የቫኩም ሽፋን ስርዓቶች ጥብቅ የክፍል ዝግጅት እና የእውነተኛ ጊዜ ክትትልን ያዋህዳሉ። እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ፓምፕ፣ ቱርቦሞለኪውላር እና ክሪዮጂኒክ ፓምፖችን ጨምሮ፣ ከጥልቅ የክፍል መጋገር እና ከንጥረ ነገር ቅድመ-ህክምና ጋር ተዳምሮ የተረፈውን የጋዝ መጠን ይቀንሳል። በቦታው ውስጥ የሚቀሩ የጋዝ ተንታኞች (RGA) በጋዝ ስብጥር ላይ ቀጣይነት ያለው ግብረመልስ ይሰጣሉ፣ ይህም የሪአክቲቭ ጋዝ ፍሰትን፣ የፕላዝማ መለኪያዎችን እና የተከማቸ አካባቢን በትክክል መቆጣጠር ያስችላል። እነዚህ እርምጃዎች ቀጭን ፊልሞች የተነደፉትን የኦፕቲካል ቋሚዎችን፣ ሜካኒካል ታማኝነትን እና የረጅም ጊዜ መረጋጋትን እንዲያገኙ ያረጋግጣሉ።

ባጭሩ፣ የቀሪ ጋዞች በቫክዩም ሽፋን ሂደቶች ውስጥ ቀጭን የፊልም ጥራትን ለመወሰን ወሳኝ ነገር ናቸው። የእነሱ ተጽእኖ የኬሚካል ስብጥርን፣ ማይክሮስትራክቸርን፣ የኦፕቲካል አፈጻጸምን እና ሜካኒካል ባህሪያትን ያካትታል። ከኦፕቲካል ክፍሎች እና የማሳያ መሳሪያዎች እስከ ተግባራዊ የመከላከያ ፊልሞች ድረስ በተለያዩ የኢንዱስትሪ አፕሊኬሽኖች ውስጥ ሊባዙ የሚችሉ እና ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን ሽፋኖች ለማግኘት የላቀ የቫክዩም ቴክኖሎጂን፣ የሂደት ክትትልን እና የክፍል ዝግጅትን በመጠቀም የተረፈ ጋዝ ይዘትን ውጤታማ በሆነ መንገድ መቆጣጠር አስፈላጊ ነው።

-ይህ ጽሑፍ የታተመው በየቫክዩም ሽፋን መሣሪያዎች አምራችዜንሁዋ ቫክዩም