Göni ion şöhlesiniň çökdürilmegi ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürilmegiň bir görnüşidir. Göni ion şöhlesiniň çökdürilmegi massa bölünmedik ion şöhlesiniň çökdürilmegidir. Bu usul ilkinji gezek 1971-nji ýylda almaz ýaly uglerod plýonkalaryny öndürmek üçin ulanyldy, bu bolsa ion çeşmesiniň katodynyň we anodynyň esasy böleginiň ugleroddan ýasalmagy prinsipine esaslanýar.
Duýgur gaz boşaltma kamerasyna girizilýär we daşarky magnit meýdany goşulyp, pes basyş şertlerinde plazma boşalmasyny döredýär, bu bolsa ionlaryň elektrodlara täsir edýän püskürtme täsirine esaslanyp, uglerod ionlaryny öndürýär. Plazmadaky uglerod ionlary we dykyz ionlar şol bir wagtyň özünde çökündi kamerasyna girizildi we substratdaky negatiw basyş sebäpli substrata inýeksiýa etmek üçin tizleşdirildi.
Synag netijeleri 50 ~ 100 eV energiýaly uglerod ionlarynyňotagtemperaturada, Si, NaCI, KCI, Ni we beýleki substratlarda açyk almaz ýaly uglerod plýonkasyny taýýarlamakda, garşylyk 10Q-sm-e çenli ýokary, döwülme görkezijisi takmynan 2, organiki däl we organiki kislotalarda eremeýär, gatylygy örän ýokary.
——Bu makala tarapyndan çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 31-nji awgusty