Туры ион нуры урнаштыру - ион нуры ярдәмендә урнаштыру төре. Туры ион нуры урнаштыру - масса аерылмаган ион нуры урнаштыру. Бу ысул беренче тапкыр 1971 елда алмазсыман углерод пленкаларын җитештерү өчен кулланылган, бу ион чыганагының катод һәм анодының төп өлеше углеродтан тора дигән принципка нигезләнгән.
Акылга сыярлык газ разряд камерасына кертелә, һәм түбән басым шартларында плазма разрядына китерү өчен тышкы магнит кыры өстәлә, бу электродларга ионнарның сиптерү эффектына таянып, углерод ионнары барлыкка китерә. Плазмадагы углерод ионнары һәм тыгыз ионнар бер үк вакытта утырту камерасына кертелә, һәм алар субстратка тискәре басым аркасында субстратка кертелер өчен тизләтелә.
Сынау нәтиҗәләре күрсәткәнчә, 50~100эВ энергияле углерод ионнарыбүлмәтемпературада, Si, NaCI, KCI, Ni һәм башка субстратларда үтә күренмәле алмазсыман углерод пленкасы әзерләнгәндә, каршылыгы 10Q-см2 кадәр, сыну күрсәткече якынча 2, органик булмаган һәм органик кислоталарда эреми, бик югары катылыкка ия.
——Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2023 елның 31 августы