O le fa'aputuga tuusa'o o le ion beam o se ituaiga o fa'aputuga fesoasoani i le ion beam. O le fa'aputuga tuusa'o o le ion beam o se fa'aputuga ion beam e le'i vavae'eseina e se vaega tele. O lenei metotia na fa'aaogaina muamua e gaosia ai ni ata kaponi e pei o taimane i le 1971, e fa'avae i luga o le mataupu fa'avae o le vaega autu o le cathode ma le anode o le puna o le ion e faia i le kaponi.
O le kesi lagona e ta'ita'iina atu i totonu o le potu fa'asa'oloto, ma fa'aopoopo i ai se fanua maneta mai fafo e mafua ai le fa'asa'olotoina o le plasma i lalo o tulaga maualalo o le mamafa, e fa'alagolago i le aafiaga o le sputtering o ions i luga o electrodes e gaosia ai ions carbon. O ions carbon ma ions mafiafia i totonu o le plasma na fa'aosofia i totonu o le potu fa'aputuga i le taimi e tasi, ma na fa'avavevaveina ina ia tuiina i luga o le substrate ona o le mamafa fa'api'opi'o leaga i luga o le substrate.
O fa'ai'uga o su'ega e fa'aalia ai o le malosi o le carbon ions e 50~100eV i lepotuvevela, i le Si, NaCI, KCI, Ni ma isi substrates i luga o le sauniuniga o se ata manino e pei o taimane carbon, resistivity e maualuga e pei o le 10Q-cm, faasinomaga refractive e tusa ma le 2, e le mafai ona solo i acids inorganic ma organic, e matua maaa lava.
——O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Aokuso-31-2023