Phương pháp lắng đọng chùm ion trực tiếp là một loại lắng đọng có hỗ trợ chùm ion. Lắng đọng chùm ion trực tiếp là phương pháp lắng đọng chùm ion không phân tách khối lượng. Kỹ thuật này lần đầu tiên được sử dụng để sản xuất màng carbon giống kim cương vào năm 1971, dựa trên nguyên lý rằng phần chính của cực âm và cực dương của nguồn ion được làm bằng carbon.
Khí nhạy được dẫn vào buồng phóng điện, và một từ trường ngoài được thêm vào để tạo ra sự phóng điện plasma trong điều kiện áp suất thấp, dựa vào hiệu ứng bắn phá của các ion trên điện cực để tạo ra các ion cacbon. Các ion cacbon và các ion đậm đặc trong plasma được đưa vào buồng lắng đọng cùng lúc, và chúng được gia tốc để phun lên chất nền do áp suất phân cực âm tác dụng lên chất nền.
Kết quả thử nghiệm cho thấy các ion cacbon có năng lượng từ 50 đến 100 eV ởphòngỞ nhiệt độ cao, trên các chất nền Si, NaCI, KCI, Ni và các chất nền khác, màng carbon giống kim cương trong suốt có điện trở suất cao tới 10Ω-cm, chiết suất khoảng 2, không tan trong axit vô cơ và hữu cơ, và có độ cứng rất cao.
——Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng bài: 31 tháng 8 năm 2023