To'g'ridan-to'g'ri ion nurlarini cho'ktirish ion nurlari yordamida cho'ktirishning bir turidir. To'g'ridan-to'g'ri ion nurlarini cho'ktirish massa ajratilmagan ion nurlarini cho'ktirishdir. Bu usul birinchi marta 1971-yilda olmosga o'xshash uglerod plyonkalarini ishlab chiqarish uchun ishlatilgan, bu ion manbaining katod va anodining asosiy qismi ugleroddan iborat degan printsipga asoslanadi.
Aqlli gaz chiqarish kamerasiga kiritiladi va past bosim sharoitida plazma chiqarish uchun tashqi magnit maydon qo'shiladi, bu esa ionlarning elektrodlarga ta'siri natijasida uglerod ionlarini hosil qiladi. Plazmadagi uglerod ionlari va zich ionlar bir vaqtning o'zida cho'ktirish kamerasiga kiritiladi va substratdagi salbiy bosim tufayli substratga yuborish uchun tezlashtiriladi.
Sinov natijalari shuni ko'rsatadiki, 50~100eV energiyaga ega uglerod ionlarixonaSi, NaCl, KCl, Ni va boshqa substratlarda shaffof olmosga o'xshash uglerod plyonkasini tayyorlashda harorat, 10Q-sm2 gacha bo'lgan qarshilik, taxminan 2 sinish ko'rsatkichi, noorganik va organik kislotalarda erimaydi, juda yuqori qattiqlikka ega.
——Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2023-yil 31-avgust