ডাইরেক্ট আয়ন বিম ডিপোজিশন হলো এক প্রকার আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন। ডাইরেক্ট আয়ন বিম ডিপোজিশন একটি নন-মাস-সেপারেটেড আয়ন বিম ডিপোজিশন। এই কৌশলটি সর্বপ্রথম ১৯৭১ সালে ডায়মন্ড-লাইক কার্বন ফিল্ম তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়েছিল। এর মূলনীতি হলো, আয়ন উৎসের ক্যাথোড এবং অ্যানোডের প্রধান অংশ কার্বন দিয়ে তৈরি।
সংবেদনশীল গ্যাসকে ডিসচার্জ চেম্বারে প্রবেশ করানো হয় এবং একটি বাহ্যিক চৌম্বক ক্ষেত্র প্রয়োগ করে নিম্নচাপের পরিস্থিতিতে প্লাজমা ডিসচার্জ ঘটানো হয়, যা ইলেকট্রোডের উপর আয়নের স্পাটারিং প্রভাবের উপর নির্ভর করে কার্বন আয়ন তৈরি করে। প্লাজমার মধ্যে থাকা কার্বন আয়ন এবং ঘন আয়ন একই সাথে ডিপোজিশন চেম্বারে আবিষ্ট হয় এবং সাবস্ট্রেটের উপর নেতিবাচক বায়াস চাপের কারণে ত্বরান্বিত হয়ে সাবস্ট্রেটের উপর ইনজেক্ট হয়।
পরীক্ষার ফলাফল থেকে দেখা যায় যে, ৫০~১০০ eV শক্তি সম্পন্ন কার্বন আয়নসমূহঘরউচ্চ তাপমাত্রায় Si, NaCl, KCl, Ni এবং অন্যান্য সাবস্ট্রেটের উপর স্বচ্ছ ডায়মন্ড-লাইক কার্বন ফিল্ম প্রস্তুত করা হয়, যার রোধাঙ্ক 10Ω-cm পর্যন্ত, প্রতিসরাঙ্ক প্রায় 2, অজৈব ও জৈব অ্যাসিডে অদ্রবণীয় এবং কাঠিন্য অত্যন্ত বেশি।
এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ৩১ আগস্ট, ২০২৩