ʻO ka waiho ʻana o ke kukuna ion pololei he ʻano waiho ʻana me ke kōkua o ke kukuna ion. ʻO ka waiho ʻana o ke kukuna ion pololei he waiho ʻana o ke kukuna ion i hoʻokaʻawale ʻole ʻia. Ua hoʻohana mua ʻia kēia ʻano hana e hana i nā kiʻiʻoniʻoni kalapona e like me ke daimana i ka makahiki 1971, ma muli o ke kumumanaʻo ʻo ka hapa nui o ka cathode a me ka anode o ke kumu ion ua hana ʻia me ke kalapona.
Alakaʻi ʻia ke kinoea naʻauao i loko o ke keʻena hoʻokuʻu, a hoʻohui ʻia kahi kahua magnetic waho e hoʻoulu ai i ka hoʻokuʻu plasma ma lalo o nā kūlana haʻahaʻa haʻahaʻa, e hilinaʻi ana i ka hopena sputtering o nā ions ma nā electrodes e hana i nā ions kalapona. Ua hoʻokomo ʻia nā ions kalapona a me nā ions paʻa i loko o ka plasma i loko o ke keʻena waiho ʻana i ka manawa like, a ua hoʻolalelale ʻia lākou e hoʻokomo ʻia ma luna o ka substrate ma muli o ke kaomi bias maikaʻi ʻole ma ka substrate.
Hōʻike nā hopena hoʻāʻo i nā iona kalapona me ka ikehu o 50 ~ 100eV malumiMa ke ana wela, ma Si, NaCI, KCI, Ni a me nā substrates ʻē aʻe, ua hoʻomākaukau ʻia kahi ʻoniʻoni kalapona e like me ke daimana moakaka, ʻoi aku ka resistivity o 10Q-cm, ma kahi o 2 ka helu kuhikuhi refractive, hiki ʻole ke hoʻoheheʻe ʻia i loko o nā waikawa inorganic a me nā organik, a he paʻakikī kiʻekiʻe loa.
——Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Aug-31-2023