Ҷойгиркунии мустақими шуоъи ионӣ як навъи ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ мебошад. Ҷойгиркунии мустақими шуоъи ионӣ як ҷойгиркунии ғайримассавии шуоъи ионӣ мебошад. Ин усул бори аввал дар соли 1971 барои истеҳсоли плёнкаҳои карбонии алмосмонанд истифода шуда буд, ки бар асоси принсипи он ки қисми асосии катод ва аноди манбаи ионӣ аз карбон иборат аст.
Гази ҳассос ба камераи холӣкунӣ ворид карда мешавад ва майдони магнитии беруна илова карда мешавад, то дар шароити фишори паст холӣшавии плазмаро ба вуҷуд орад, ки ба таъсири пошидани ионҳо ба электродҳо такя карда, ионҳои карбонро ба вуҷуд меорад. Ионҳои карбон ва ионҳои зич дар плазма ҳамзамон ба камераи таҳшинкунӣ ворид карда шуданд ва онҳо аз сабаби фишори манфии таассуб ба субстрат барои ворид шудан ба субстрат суръат гирифтанд.
Натиҷаҳои санҷиш нишон медиҳанд, ки ионҳои карбон бо энергияи 50~100 эВ дарҳуҷраҳарорат, дар Si, NaCI, KCI, Ni ва дигар субстратҳо дар тайёр кардани плёнкаи карбонии шаффофи алмосмонанд, муқовимат то 10Q-см2, нишондиҳандаи шикаст тақрибан 2, дар кислотаҳои ғайриорганикӣ ва органикӣ ҳалнашаванда, сахтии хеле баланд доранд.
——Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 31 августи соли 2023