Тікелей иондық сәулемен тұндыру - иондық сәулемен тұндыру түрі. Тікелей иондық сәулемен тұндыру - массасы бөлінбеген иондық сәулемен тұндыру. Бұл әдіс алғаш рет 1971 жылы ион көзінің катод пен анодының негізгі бөлігі көміртектен тұратын принципке негізделген гауһар тәрізді көміртекті пленкаларды алу үшін қолданылды.
Сезімтал газ разряд камерасына енгізіледі, ал сыртқы магнит өрісі қосылып, төмен қысым жағдайында плазмалық разряд пайда болады, бұл иондардың электродтарға шашырату әсеріне сүйеніп, көміртегі иондарын түзеді. Плазмадағы көміртегі иондары мен тығыз иондар бір уақытта тұндыру камерасына енгізіліп, субстратқа теріс қысым әсерінен субстратқа енгізілу үшін үдетілді.
Сынақ нәтижелері 50~100 эВ энергиясы бар көміртек иондарының ... екенін көрсетеді.бөлметемпературада, Si, NaCI, KCI, Ni және басқа да субстраттарда мөлдір гауһар тәрізді көміртекті пленка дайындауда, кедергісі 10Q-см2 дейін, сыну көрсеткіші шамамен 2, бейорганикалық және органикалық қышқылдарда ерімейді, қаттылығы өте жоғары.
——Бұл мақаланы жариялағанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 31 тамыз