Ìdásílẹ̀ ààyò ààyò tààrà jẹ́ irú ìdásílẹ̀ ààyò ààyò tí a fi ion ṣe ìrànlọ́wọ́. Ìdásílẹ̀ ààyò ààyò tààrà jẹ́ ìdásílẹ̀ ààyò ààyò tí kò ní ìwúwo púpọ̀. A kọ́kọ́ lo ọ̀nà yìí láti ṣe àwọn fíìmù carbon bíi dáyámọ́ńdì ní ọdún 1971, nítorí ìlànà náà pé a fi èéfín ṣe apá pàtàkì ti katódì àti ánódì ti orísun ààyò náà.
A máa darí gáàsì tó ní ìmòye sínú yàrá ìtújáde, a sì máa fi pápá mágnẹ́ẹ̀tì ìta kún un láti fa ìtújáde plasma lábẹ́ ipò ìfúnpá kékeré, tí ó gbẹ́kẹ̀lé ipa ìtújáde ti àwọn ion lórí àwọn elektrodu láti ṣe àwọn ion carbon. Àwọn ion carbon àti àwọn ion dídín nínú plasma ni a fà sínú yàrá ìtújáde ní àkókò kan náà, a sì yára wọn láti fi sínú substrate náà nítorí ìfúnpá àìdára lórí substrate náà.
Àwọn àbájáde ìdánwò fihàn pé àwọn ion erogba pẹ̀lú agbára 50 ~ 100eV níyaraiwọn otutu, ninu Si, NaCI, KCI, Ni ati awọn ipilẹ miiran lori igbaradi fiimu erogba ti o han gbangba ti o dabi okuta iyebiye, resistance to ga to 10Q-cm, atọka refractive ti o to bii 2, ti ko le yo ninu awọn acids inorganic ati organic, ni lile giga pupọ.
——A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ àwọn olùgbékalẹ̀ rẹ̀ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-31-2023