Түз иондук нурду чөктүрүү - бул иондук нурдун жардамы менен чөктүрүүнүн бир түрү. Түз иондук нурду чөктүрүү - бул массасы бөлүнбөгөн иондук нурду чөктүрүү. Бул ыкма алгач 1971-жылы ион булагынын катодунун жана анодунун негизги бөлүгү көмүртектен турган принцибине негизделген алмаз сымал көмүртек пленкаларын алуу үчүн колдонулган.
Сезимтал газ разряд камерасына киргизилет жана төмөнкү басым шарттарында плазма разрядын пайда кылуу үчүн тышкы магнит талаасы кошулат, бул электроддорго иондордун чачыранды таасирине таянып, көмүр иондорун пайда кылат. Плазмадагы көмүр иондору жана тыгыз иондор бир эле учурда чөкмө камерасына индукцияланып, субстраттагы терс басымдан улам субстратка сайылуу үчүн ылдамдатылган.
Сыноо жыйынтыктары көрсөткөндөй, энергиясы 50~100 эВ болгон көмүртек иондорубөлмөтемпературада, Si, NaCI, KCI, Ni жана башка субстраттарда тунук алмаз сымал көмүртек пленкасын даярдоодо колдонулат, каршылыгы 10Q-см2ге чейин жетет, сынуу көрсөткүчү 2ге жакын, органикалык эмес жана органикалык кислоталарда эрибейт, абдан жогорку катуулукка ээ.
——Бул макаланы жарыялаганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 31-августу