يُعدّ الترسيب المباشر باستخدام حزمة الأيونات نوعًا من أنواع الترسيب بمساعدة حزمة الأيونات. وهو ترسيب غير مفصول الكتلة باستخدام حزمة الأيونات. استُخدمت هذه التقنية لأول مرة لإنتاج أغشية كربونية شبيهة بالماس عام 1971، استنادًا إلى مبدأ أن الجزء الرئيسي من الكاثود والأنود في مصدر الأيونات مصنوع من الكربون.
يُوجَّه الغاز القابل للاشتعال إلى حجرة التفريغ، ويُضاف مجال مغناطيسي خارجي لإحداث تفريغ بلازمي تحت ضغط منخفض، معتمدًا على تأثير التذرية للأيونات على الأقطاب الكهربائية لإنتاج أيونات الكربون. في الوقت نفسه، تُدفع أيونات الكربون والأيونات الكثيفة الموجودة في البلازما إلى حجرة الترسيب، وتُسرَّع لتُحقن على الركيزة بفعل ضغط الانحياز السالب عليها.
تُظهر نتائج الاختبار أن أيونات الكربون ذات طاقة تتراوح بين 50 و100 إلكترون فولت عندغرفةدرجة الحرارة، في السيليكون، كلوريد الصوديوم، كلوريد البوتاسيوم، النيكل وغيرها من الركائز على تحضير غشاء كربوني شفاف يشبه الماس، مقاومة عالية تصل إلى 10 أوم-سم، معامل انكسار حوالي 2، غير قابل للذوبان في الأحماض العضوية وغير العضوية، يتمتع بصلابة عالية جدًا.
——تم نشر هذه المقالة بواسطةمصنع آلات الطلاء بالتفريغقوانغدونغ تشنهوا
تاريخ النشر: 31 أغسطس 2023