Utangulizi wa Uwekaji wa Miale ya Ioni Moja kwa Moja

Uwekaji wa miale ya ioni moja kwa moja ni aina ya uwekaji unaosaidiwa na miale ya ioni. Uwekaji wa miale ya ioni moja kwa moja ni uwekaji wa miale ya ioni usiotenganishwa kwa wingi. Mbinu hii ilitumika kwa mara ya kwanza kutengeneza filamu za kaboni zinazofanana na almasi mwaka wa 1971, kwa kuzingatia kanuni kwamba sehemu kuu ya kathodi na anodi ya chanzo cha ioni imetengenezwa kwa kaboni.

Gesi inayofaa huingizwa kwenye chumba cha kutoa, na uwanja wa sumaku wa nje huongezwa ili kusababisha kutokwa kwa plasma chini ya hali ya shinikizo la chini, kutegemea athari ya matone ya ioni kwenye elektrodi ili kutoa ioni za kaboni. Ioni za kaboni na ioni nzito kwenye plasma ziliingizwa kwenye chumba cha kuhifadhi wakati huo huo, na ziliharakishwa kuingizwa kwenye sehemu ya kutoa kutokana na shinikizo hasi la upendeleo kwenye sehemu ya kutoa kutoa.

Matokeo ya majaribio yanaonyesha kwamba ioni za kaboni zenye nishati ya 50~100eV katikachumbaJoto, katika Si, NaCI, KCI, Ni na substrates zingine kwenye utayarishaji wa filamu ya kaboni inayofanana na almasi, upinzani wa juu kama 10Q-cm, faharisi ya kuakisi ya takriban 2, isiyoyeyuka katika asidi zisizo za kikaboni na kikaboni, ina ugumu wa juu sana.

——Makala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua