డైరెక్ట్ అయాన్ బీమ్ డిపోజిషన్ అనేది అయాన్ బీమ్ సహాయక డిపోజిషన్లో ఒక రకం. డైరెక్ట్ అయాన్ బీమ్ డిపోజిషన్ అనేది ద్రవ్యరాశి-విభజన లేని అయాన్ బీమ్ డిపోజిషన్. అయాన్ సోర్స్ యొక్క కాథోడ్ మరియు ఆనోడ్లోని ప్రధాన భాగం కార్బన్తో తయారు చేయబడిందనే సూత్రం ఆధారంగా, ఈ సాంకేతికతను 1971లో వజ్రం లాంటి కార్బన్ ఫిల్మ్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి మొదటిసారిగా ఉపయోగించారు.
ఎలక్ట్రోడ్లపై అయాన్ల స్పుటరింగ్ ప్రభావంపై ఆధారపడి కార్బన్ అయాన్లను ఉత్పత్తి చేయడానికి, సెన్సిబుల్ గ్యాస్ను డిశ్చార్జ్ ఛాంబర్లోకి పంపి, తక్కువ పీడన పరిస్థితులలో ప్లాస్మా డిశ్చార్జ్ను కలిగించడానికి ఒక బాహ్య అయస్కాంత క్షేత్రాన్ని జోడిస్తారు. ప్లాస్మాలోని కార్బన్ అయాన్లు మరియు సాంద్ర అయాన్లు ఒకే సమయంలో డిపోజిషన్ ఛాంబర్లోకి ప్రేరేపించబడ్డాయి, మరియు సబ్స్ట్రేట్పై ఉన్న నెగటివ్ బయాస్ పీడనం కారణంగా అవి వేగవంతం చేయబడి సబ్స్ట్రేట్పైకి ఇంజెక్ట్ చేయబడ్డాయి.
పరీక్ష ఫలితాలు 50~100eV శక్తి గల కార్బన్ అయాన్లు వద్ద ఉన్నాయని చూపిస్తున్నాయిగదిఅధిక ఉష్ణోగ్రత వద్ద, Si, NaCl, KCl, Ni మరియు ఇతర సబ్స్ట్రేట్లపై పారదర్శక వజ్రం లాంటి కార్బన్ ఫిల్మ్ను తయారుచేయవచ్చు. ఇది 10Ω-cm అంత అధిక నిరోధకతను, సుమారు 2 వక్రీభవన సూచికను కలిగి ఉంటుంది, అకర్బన మరియు సేంద్రీయ ఆమ్లాలలో కరగదు మరియు చాలా అధిక కాఠిన్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
ఈ కథనాన్ని విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: ఆగస్టు 31, 2023