Göni ion şöhleleriniň çökdürilmegi, ion şöhlelerine kömek edilýän çökdürmegiň bir görnüşidir. Göni ion şöhleleriniň çökmegi, köpçülik bilen bölünmedik ion şöhleleriniň çökdürilmegi. Bu usul ilkinji gezek 1971-nji ýylda katodyň we ion çeşmesiniň anodynyň ugleroddan emele gelýändigi ýörelgesine esaslanyp, göwher ýaly uglerod filmlerini öndürmek üçin ulanyldy.
Düşünjeli gaz çykaryş kamerasyna eltilýär we pes magnit şertlerinde plazmanyň çykmagyna sebäp bolmak üçin daşarky magnit meýdany goşulýar, ionlaryň elektrodlara uglerod ionlaryny öndürmekdäki täsirine daýanýar. Plazmadaky uglerod ionlary we dykyz ionlar şol bir wagtyň özünde depozit kamerasyna girizildi we substratyň negatiw basyşy sebäpli substrata sanjym edildi.
Synag netijeleri, 50 ~ 100eV energiýa bilen uglerod ionlarynyň bardygyny görkezýärotagSi, NaCI, KCI, Ni we beýleki substratlarda göwher ýaly aç-açan uglerod plýonkasyny taýýarlamak, 10Q sm çenli garşylyk, 2 töweregi refraktiw görkeziji, organiki we organiki kislotalarda eräp bilmeýän gaty gatylyk bar.
——Bu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Awgust-31-2023