Wakuum örtük enjamlary, adatça, täsirli, birmeňzeş film depozitini gazanmak üçin bilelikde işleýän birnäçe aýratyn komponentlerden durýar. Aşakda esasy komponentleriň we olaryň wezipeleriniň beýany:
Esasy komponentler
Wakuum kamerasy:
Funksiýa: Buglanmak ýa-da tüýkürmek wagtynda örtük materialynyň howa bilen hapalanmagy bilen täsir etmezligi üçin pes basyşly ýa-da ýokary wakuum gurşawyny üpjün edýär, filmiň arassalygyny we hilini üpjün edýär.
Gurluşy: Adatça ýokary güýçli, poslamaýan polatdan ýa-da alýuminden ýasalan içki dizaýn, howa akymynyň paýlanyşyny we substratyň ýerleşdirilmeginiň aňsatlygyny göz öňünde tutýar.
Wakuum nasos ulgamy:
Funksiýa: Zerur wakuum derejesine ýetmek üçin wakuum kamerasynyň içindäki gazy çykarmak üçin ulanylýar.
Görnüşleri: Mehaniki nasoslar (meselem, aýlawly nasoslar), turbomolekulýar nasoslar, diffuziýa nasoslary we ion nasoslary.
Buglaşma çeşmesi ýa-da tüýdük çeşmesi:
Funksiýa: wakuumda bug ýa-da plazma emele getirmek üçin örtük materialyny gyzdyrýar we bugarýar.
Görnüşleri: garşylykly ýyladyş çeşmesi, elektron şöhlesiniň bugarmak çeşmesi, magnitron tüýdük çeşmesi we lazer bugarmak çeşmesi we ş.m.
Substrat saklaýjy we aýlanýan mehanizm:
Funksiýa: Substraty saklaýar we örtük materialynyň substratyň üstünde aýlanmagy ýa-da yrgyldamasy bilen birmeňzeş saklanmagyny üpjün edýär.
Gurluşyk: Adatça dürli şekilli we ululykdaky substratlary ýerleşdirmek üçin sazlanylýan gysgyçlary we aýlanýan / yrgyldama mehanizmlerini öz içine alýar.
Elektrik üpjünçiligi we dolandyryş ulgamy:
Funksiýa: Buglaşma çeşmesine, tüýdük çeşmesine we beýleki enjamlara güýç berýär we temperatura, wakuum we wagt ýaly umumy örtük prosesiniň parametrlerine gözegçilik edýär.
Komponentler: Elektrik üpjünçiligini, dolandyryş panellerini, kompýuterleşdirilen dolandyryş ulgamlaryny we gözegçilik datçiklerini öz içine alýar.
Gaz üpjünçiligi ulgamy (tüýdük örtük enjamlary üçin):
Funksiýa: Plazmany saklamak ýa-da belli bir inçe film döretmek üçin himiki reaksiýa gatnaşmak üçin inert gazlary (meselem, argon) ýa-da reaktiw gazlary (meselem, kislorod, azot) üpjün edýär.
Komponentler: Gaz silindrlerini, akym gözegçiligini we gaz geçiriji turbalary öz içine alýar.
Sowadyjy ulgam:
Funksiýa: gyzgynlygyň öňüni almak üçin bugarmak çeşmesini, tüýdük çeşmesini we wakuum kamerasyny sowadýar.
Görnüşleri: suw sowadyş ulgamlary we howany sowatmak ulgamlary we ş.m.
Gözegçilik we kesgitlemek ulgamy:
Funksiýa: Örtügiň hilini üpjün etmek üçin örtük prosesinde filmiň galyňlygy, çöketlik derejesi, wakuum we temperatura ýaly esasy parametrlere hakyky wagt gözegçiligi.
Görnüşleri: kwars kristal mikrobalansy, optiki galyňlyk monitory we galyndy gaz analizatory we ş.m.
Gorag enjamlary:
Funksiýa: Operatorlaryň we enjamlaryň ýokary temperatura, ýokary wolt ýa-da wakuum gurşawy sebäpli ýüze çykýan howplardan howpsuzlygyny üpjün edýär.
Komponentler: Goragçylar, gyssagly durmak düwmeleri we howpsuzlyk baglanyşyklary we ş.m.
Gysgaça jemläň.
Wakuum örtük enjamlary bu komponentleriň sinergistik işi arkaly ýokary hilli inçe filmleri goýmak prosesine düşünýär. Bu maşynlar optiki, elektron, bezeg we funksional inçe filmleri taýýarlamakda möhüm rol oýnaýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Iýul-23-2024