แหล่งกำเนิดมลพิษจากอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศมีอะไรบ้าง

การอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศประกอบด้วยชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำจำนวนมาก ซึ่งผ่านกระบวนการต่างๆ มากมาย เช่น การเชื่อม การเจียร การกลึง การไส การเจาะ การกัด และอื่นๆ เนื่องจากงานเหล่านี้ พื้นผิวของชิ้นส่วนอุปกรณ์จึงมักปนเปื้อนด้วยสารปนเปื้อน เช่น จารบี สิ่งสกปรกจากน้ำมัน เศษโลหะ ฟลักซ์เชื่อม น้ำยาขัดเงา คราบเหงื่อ และอื่นๆ สารปนเปื้อนเหล่านี้ระเหยได้ง่ายภายใต้สภาวะสุญญากาศ จึงส่งผลกระทบต่อสุญญากาศขั้นสุดท้ายของอุปกรณ์

นอกจากนี้มลพิษสูญญากาศจากการประมวลผลทางกลเหล่านี้จะดูดซับก๊าซจำนวนมากในสภาพแวดล้อมความดันบรรยากาศ และในสถานะสูญญากาศ ก๊าซที่ดูดซับไว้ก่อนหน้านี้เหล่านี้จะถูกปล่อยออกมาอีกครั้ง ซึ่งกลายเป็นปัจจัยสำคัญที่จำกัดขีดจำกัดสูญญากาศ ด้วยเหตุนี้ จึงต้องกำจัดมลพิษออกก่อนประกอบชิ้นส่วนของเครื่องเคลือบสูญญากาศ

ในระหว่างการใช้งานอุปกรณ์สูญญากาศ ส่วนประกอบของอุปกรณ์ก็อาจปนเปื้อนได้เช่นกัน อย่างไรก็ตาม มลพิษจากแหล่งนี้ส่วนใหญ่เกิดจากสภาพการใช้งานและปั๊มสูญญากาศ

1. การระเหยของเส้นใยของมาตรวัดสุญญากาศภายใต้สภาวะอุณหภูมิสูงจะนำไปสู่การสร้างฟิล์มบนฉนวนเซรามิก ซึ่งจะทำให้ความแข็งแกร่งของฉนวนเสียหายไปในระดับหนึ่ง และยังส่งผลกระทบในระดับหนึ่งต่อความแม่นยำของการวัดอีกด้วย

2. เนื่องจากการระเหยที่อุณหภูมิสูง ทำให้เกิดฟิล์มโลหะขึ้นบนพื้นผิวใกล้กับเส้นใยของปืนอิเล็กตรอนในสุญญากาศ

3. เนื่องจากการพ่นชิ้นงาน ผนังด้านในของอุปกรณ์กัดลำแสงไอออนจะได้รับการปนเปื้อนจากละอองน้ำ

4. ผนังด้านในของอุปกรณ์เคลือบระเหยสูญญากาศจะถูกปนเปื้อนด้วยวัสดุเป้าหมายการระเหย

5. มักใช้ระบบการอบแห้งแบบสูญญากาศ และระบบจะปนเปื้อนด้วยสารระเหย

6. น้ำมันปั๊มกระจายและน้ำมันปั๊มเชิงกลในอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศก็เป็นแหล่งมลพิษที่สำคัญเช่นกัน เมื่อเครื่องเคลือบทำงานเป็นเวลานาน ฟิล์มน้ำมันอาจก่อตัวขึ้นภายในอุปกรณ์

โดยสรุปแล้ว การฆ่าเชื้ออุปกรณ์สูญญากาศเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์สูญญากาศ ระบบสูญญากาศ กระบวนการผลิตสูญญากาศ และด้านและลิงก์อื่นๆ รวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศเองและกระบวนการสูญญากาศพิเศษเกี่ยวกับเงื่อนไขการใช้งาน ดังนั้น มลพิษจากสูญญากาศจึงเป็นปัญหาที่ควรให้ความสนใจ เนื่องจากมลพิษเหล่านี้จะส่งผลต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ และควรใส่ใจกับการทำความสะอาดเป็นประจำหรือตลอดเวลา