ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิของความต้านทานในฟิล์มโลหะจะแปรผันตามความหนาของฟิล์ม ฟิล์มบางจะมีค่าเป็นลบ ฟิล์มหนาจะมีค่าเป็นบวก และฟิล์มที่หนาขึ้นจะมีค่าคล้ายคลึงแต่ไม่เหมือนกับวัสดุที่เป็นก้อน ในโดยทั่วไป ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิของความต้านทานจะเปลี่ยนจากค่าลบเป็นค่าบวกเมื่อความหนาของฟิล์มเพิ่มขึ้นจนถึงระดับหลายสิบนาโนเมตร
นอกจากนี้ อัตราการระเหยยังส่งผลต่อค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานของฟิล์มโลหะด้วย ฟิล์มที่เตรียมด้วยอัตราการระเหยต่ำจะมีโครงสร้างหลวม อิเล็กตรอนสามารถเคลื่อนที่ผ่านกำแพงศักย์ได้น้อย และความสามารถในการนำไฟฟ้าก็อ่อนแอ ประกอบกับการเกิดออกซิเดชันและการดูดซับ ทำให้ค่าความต้านทานสูง ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานต่ำ หรืออาจเป็นค่าลบ ในขณะที่อัตราการระเหยเพิ่มขึ้น ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานจะเปลี่ยนจากค่าต่ำไปเป็นค่าสูง จากค่าลบเป็นค่าบวก ทั้งนี้เนื่องจากฟิล์มที่เตรียมด้วยอัตราการระเหยต่ำมีคุณสมบัติเป็นสารกึ่งตัวนำเนื่องจากการเกิดออกซิเดชัน ทำให้ค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานมีค่าเป็นลบ ฟิล์มที่เตรียมด้วยอัตราการระเหยสูงมักจะมีคุณสมบัติเป็นโลหะและมีค่าสัมประสิทธิ์อุณหภูมิความต้านทานเป็นบวก
เนื่องจากโครงสร้างของฟิล์มเปลี่ยนแปลงไปอย่างถาวรตามอุณหภูมิ ความต้านทานและสัมประสิทธิ์ความต้านทานต่ออุณหภูมิของฟิล์มจึงเปลี่ยนแปลงไปตามอุณหภูมิของชั้นเคลือบในระหว่างการระเหย และฟิล์มยิ่งบาง การเปลี่ยนแปลงก็จะยิ่งรุนแรงมากขึ้น อาจอธิบายได้ว่าเป็นผลมาจากการเปลี่ยนแปลงทางเคมีที่เกิดจากการระเหยซ้ำและการกระจายตัวของอนุภาคของฟิล์มที่มีโครงสร้างคล้ายเกาะหรือท่อบนพื้นผิว รวมถึงการกระเจิงของโครงสร้างผลึก การกระเจิงของสิ่งเจือปน การกระเจิงของข้อบกพร่องในโครงสร้างผลึก และการออกซิเดชัน
–บทความนี้เผยแพร่โดยการผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศr กวางตุ้ง Zhenhua
วันที่เผยแพร่: 18 มกราคม 2024