Металл пленка каршылыгының каршылык температура коэффициенты пленка калынлыгына карап үзгәрә, юка пленкалар тискәре, калын пленкалар уңай, ә калын пленкалар күпләп кулланыла торган материалларга охшаш, ләкин бер үк түгел. Гомумән алганда, пленка калынлыгы дистәләгән нанометрга кадәр артканда каршылык температура коэффициенты тискәредән уңайга үзгәрә.
Моннан тыш, парга әйләнү тизлеге металл пленкаларның каршылык температура коэффициентына да тәэсир итә. Пленка катламы тарафыннан әзерләнгән түбән парга әйләнү тизлеге йомшак, электроннар аның потенциаль барьеры аша үтә һәм үткәрүчәнлек тудыру сәләте зәгыйфь, оксидлашу һәм адсорбция белән бергә, шуңа күрә каршылык кыйммәте югары, каршылык температура коэффициенты кечкенә, хәтта тискәре, парга әйләнү тизлеге арткан саен, каршылыкның температура коэффициенты зурдан тискәредән уңайга үзгәрә. Бу әзерләнгән пленканың түбән парга әйләнү тизлеге белән бәйле, ярымүткәргеч үзлекләренең оксидлашуы аркасында каршылык температура коэффициенты тискәре кыйммәтләр. Югары парга әйләнү тизлегендә әзерләнгән пленкалар металл үзлекләренә ия һәм уңай каршылык температура коэффициентына ия.
Пленка структурасы температура белән кире кайтмаслык рәвештә үзгәргәнлектән, парга әйләнү вакытында пленканың каршылык һәм каршылык температура коэффициенты да каплау катламының температурасы белән үзгәрә, һәм пленка ни кадәр нечкә булса, үзгәреш шулкадәр кискенрәк була. Моны якынча утрау яки торбасыман структура пленкасының кисәкчәләренең субстратта кабат парга әйләнүе һәм яңадан бүленүе, шулай ук рәшәткә сибелүе, катнашма сибелүе, рәшәткә кимчелекләренең сибелүе һәм оксидлашу нәтиҗәсендә барлыкка килгән химик үзгәрешләр нәтиҗәсе дип карарга мөмкин.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүr Гуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 18 гыйнвары