Hệ số nhiệt độ của điện trở màng kim loại thay đổi theo độ dày màng; màng mỏng có hệ số âm, màng dày có hệ số dương, và màng càng dày thì hệ số tương tự nhưng không hoàn toàn giống với vật liệu khối. Nhìn chung, hệ số nhiệt độ của điện trở chuyển từ âm sang dương khi độ dày màng tăng lên đến hàng chục nanomet.
Ngoài ra, tốc độ bay hơi cũng ảnh hưởng đến hệ số nhiệt độ điện trở của màng kim loại. Màng được chế tạo với tốc độ bay hơi thấp có cấu trúc lỏng lẻo, các electron vượt qua rào cản thế năng và khả năng tạo ra độ dẫn điện yếu, cộng thêm quá trình oxy hóa và hấp phụ, do đó giá trị điện trở cao, hệ số nhiệt độ điện trở nhỏ, hoặc thậm chí âm. Khi tốc độ bay hơi tăng, hệ số nhiệt độ điện trở thay đổi từ nhỏ sang lớn, từ âm sang dương. Điều này là do màng được chế tạo với tốc độ bay hơi thấp dẫn đến quá trình oxy hóa làm mất đi tính chất bán dẫn, dẫn đến hệ số nhiệt độ điện trở có giá trị âm. Các màng được chế tạo ở tốc độ bay hơi cao có xu hướng giữ được tính chất kim loại và có hệ số nhiệt độ điện trở dương.
Do cấu trúc của màng phim thay đổi không thể đảo ngược theo nhiệt độ, nên điện trở và hệ số nhiệt độ của điện trở màng phim cũng thay đổi theo nhiệt độ của lớp phủ trong quá trình bay hơi, và màng phim càng mỏng thì sự thay đổi càng mạnh. Điều này có thể được coi là kết quả của những thay đổi hóa học gây ra bởi sự bay hơi lại và sự phân bố lại các hạt của màng phim có cấu trúc dạng đảo hoặc ống gần đúng trên chất nền, cũng như sự tán xạ mạng tinh thể, tán xạ tạp chất, tán xạ khuyết tật mạng tinh thể và quá trình oxy hóa.
–Bài viết này được phát hành bởisản xuất máy phủ chân khôngr Quảng Đông Trấn Hoa
Thời gian đăng bài: 18/01/2024