Pekali rintangan suhu rintangan filem logam berbeza-beza mengikut ketebalan filem, filem nipis adalah negatif, filem tebal adalah positif, dan filem tebal adalah serupa tetapi tidak sama dengan bahan pukal. Secara amnya, pekali rintangan suhu rintangan berubah daripada negatif kepada positif apabila ketebalan filem meningkat kepada puluhan nanometer.
Di samping itu, kadar penyejatan juga mempengaruhi pekali suhu rintangan filem logam. Kadar penyejatan rendah yang disediakan oleh lapisan filem adalah longgar, elektron merentasi penghalang potensinya dan keupayaan untuk menghasilkan kekonduksian adalah lemah, digabungkan dengan pengoksidaan dan penjerapan, jadi nilai rintangan adalah tinggi, pekali suhu rintangan adalah kecil, atau negatif, dengan peningkatan kadar penyejatan, pekali suhu rintangan perubahan rintangan kecil dari besar, dari negatif kepada positif. Ini disebabkan oleh kadar penyejatan rendah filem yang disediakan disebabkan oleh pengoksidaan sifat semikonduktor, pekali suhu rintangan nilai negatif. Filem yang disediakan pada kadar penyejatan yang tinggi cenderung mempunyai sifat logam dan mempunyai pekali suhu rintangan positif.
Oleh kerana struktur filem berubah secara tidak boleh dipulihkan mengikut suhu, pekali rintangan dan suhu rintangan filem juga berubah mengikut suhu lapisan salutan semasa penyejatan, dan semakin nipis filem, semakin drastik perubahannya. Ini boleh dianggap sebagai akibat daripada perubahan kimia yang disebabkan oleh penyejatan semula dan pengagihan semula zarah-zarah filem struktur pulau atau tiub yang hampir pada substrat, serta penyerakan kekisi, penyerakan bendasing, penyerakan kecacatan kekisi, dan pengoksidaan.
–Artikel ini dikeluarkan olehpembuatan mesin salutan vakumr Guangdong Zhenhua
Masa siaran: 18 Jan-2024