धातु फिल्म प्रतिरोधक के तापमान गुणांक की विशेषताएँ

धातु की परत का प्रतिरोध तापमान गुणांक परत की मोटाई के साथ बदलता रहता है। पतली परतों का प्रतिरोध ऋणात्मक होता है, मोटी परतों का धनात्मक होता है, और अधिक मोटी परतों का प्रतिरोध थोक पदार्थों के समान होता है, लेकिन बिल्कुल एक जैसा नहीं होता। सामान्यतः, परत की मोटाई दसियों नैनोमीटर तक बढ़ने पर प्रतिरोध तापमान गुणांक ऋणात्मक से धनात्मक हो जाता है।

इसके अतिरिक्त, वाष्पीकरण दर धातु फिल्मों के प्रतिरोधक तापमान गुणांक को भी प्रभावित करती है। कम वाष्पीकरण दर पर तैयार की गई फिल्म परत ढीली होती है, इसके विभव अवरोध के पार इलेक्ट्रॉनों का प्रवाह और चालकता उत्पन्न करने की क्षमता कमजोर होती है, साथ ही ऑक्सीकरण और अधिशोषण के कारण प्रतिरोध मान अधिक होता है, और प्रतिरोधक तापमान गुणांक कम या ऋणात्मक भी हो सकता है। वाष्पीकरण दर में वृद्धि के साथ, प्रतिरोधक तापमान गुणांक में ऋणात्मक से धनात्मक तक परिवर्तन होता है। ऐसा इसलिए होता है क्योंकि कम वाष्पीकरण दर पर तैयार की गई फिल्म के ऑक्सीकरण के कारण अर्धचालक गुणधर्म विकसित हो जाते हैं, जिससे प्रतिरोधक तापमान गुणांक का मान ऋणात्मक हो जाता है। उच्च वाष्पीकरण दर पर तैयार की गई फिल्मों में धात्विक गुणधर्म होने की प्रवृत्ति होती है और इनका प्रतिरोधक तापमान गुणांक धनात्मक होता है।

चूंकि फिल्म की संरचना तापमान के साथ अपरिवर्तनीय रूप से बदलती है, इसलिए फिल्म का प्रतिरोध और प्रतिरोध-तापमान गुणांक भी वाष्पीकरण के दौरान कोटिंग परत के तापमान के साथ बदलते हैं, और फिल्म जितनी पतली होती है, परिवर्तन उतना ही तीव्र होता है। इसे सब्सट्रेट पर लगभग द्वीप या ट्यूबलर संरचना वाली फिल्म के कणों के पुनः वाष्पीकरण और पुनर्वितरण के कारण होने वाले रासायनिक परिवर्तनों, साथ ही जाली प्रकीर्णन, अशुद्धता प्रकीर्णन, जाली दोषों के प्रकीर्णन और ऑक्सीकरण के परिणाम के रूप में समझा जा सकता है।

–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्माणआर गुआंग्डोंग झेंहुआ