धातूच्या फिल्मचा रोध तापमान गुणांक फिल्मच्या जाडीनुसार बदलतो; पातळ फिल्म्सचा रोध गुणांक ऋण असतो, जाड फिल्म्सचा धन असतो आणि त्याहून जाड फिल्म्स स्थूल पदार्थांसारख्याच असतात, पण तंतोतंत सारख्या नसतात. सर्वसाधारणपणे, जेव्हा फिल्मची जाडी काही दहा नॅनोमीटरपर्यंत वाढते, तेव्हा रोध तापमान गुणांक ऋण पासून धन मध्ये बदलतो.
याव्यतिरिक्त, बाष्पीभवनाचा दर धातूच्या फिल्म्सच्या रोधक तापमान गुणांकावर देखील परिणाम करतो. कमी बाष्पीभवन दराने तयार केलेला फिल्मचा थर सैल असतो, त्याच्या संभाव्य अडथळ्यामधून इलेक्ट्रॉन जाण्याची आणि वाहकता निर्माण करण्याची क्षमता कमकुवत असते, तसेच ऑक्सिडेशन आणि अधिशोषणामुळे, रोधकता मूल्य जास्त असते, रोधक तापमान गुणांक लहान किंवा अगदी ऋण असतो. बाष्पीभवनाचा दर वाढल्याने, रोधक तापमान गुणांकात लहान बदल होतो, जो ऋण पासून धन होतो. याचे कारण असे की, कमी बाष्पीभवन दराने तयार केलेल्या फिल्ममध्ये ऑक्सिडेशनमुळे अर्धसंवाहक गुणधर्म येतात आणि रोधक तापमान गुणांक ऋण असतो. उच्च बाष्पीभवन दराने तयार केलेल्या फिल्म्समध्ये धातूसारखे गुणधर्म असतात आणि त्यांचा रोधक तापमान गुणांक धन असतो.
तापमानानुसार फिल्मच्या संरचनेत अपरिवर्तनीय बदल होत असल्यामुळे, बाष्पीभवनादरम्यान कोटिंग लेयरच्या तापमानानुसार फिल्मचा रोध आणि रोध तापमान गुणांक देखील बदलतात, आणि फिल्म जितकी पातळ असते, तितका हा बदल अधिक तीव्र असतो. सब्सट्रेटवरील अंदाजे द्वीप किंवा नळीच्या आकाराच्या संरचनेच्या फिल्मच्या कणांचे पुनर्बाष्पीभवन आणि पुनर्वितरण, तसेच जालक विखुरण, अशुद्धी विखुरण, जालक दोषांचे विखुरण आणि ऑक्सिडीकरण यांमुळे होणाऱ्या रासायनिक बदलांचा हा परिणाम मानला जाऊ शकतो.
हा लेख यांनी प्रसिद्ध केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन उत्पादनr ग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट करण्याची वेळ: १८ जानेवारी २०२४