Металл қабықшасының кедергісінің температуралық коэффициенті қабықша қалыңдығына байланысты өзгереді, жұқа қабықшалар теріс, қалың қабықшалар оң, ал қалың қабықшалар сусымалы материалдарға ұқсас, бірақ бірдей емес. Жалпы, қабықша қалыңдығы ондаған нанометрге дейін артқан сайын кедергінің температуралық коэффициенті терістен оңға өзгереді.
Сонымен қатар, булану жылдамдығы металл қабықшалардың кедергі температуралық коэффициентіне де әсер етеді. Пленка қабаты дайындаған кезде булану жылдамдығы төмен, электрондар оның потенциалдық тосқауылынан өтеді және өткізгіштік қабілеті әлсіз, тотығу және адсорбциямен бірге жүреді, сондықтан кедергі мәні жоғары, кедергі температуралық коэффициенті аз немесе тіпті теріс, булану жылдамдығының артуымен кедергі температуралық коэффициенті кіші кедергіден үлкеннен теріске оңға өзгереді. Бұл жартылай өткізгіш қасиеттерінің тотығуына байланысты дайындалған қабықшаның булану жылдамдығының төмен болуына байланысты, кедергі температуралық коэффициенті теріс мәндерде болады. Жоғары булану жылдамдығымен дайындалған қабықшалар металл қасиеттеріне ие және оң кедергі температуралық коэффициентіне ие болады.
Қабықшаның құрылымы температураға байланысты қайтымсыз өзгеретіндіктен, булану кезінде қабықшаның кедергісі мен кедергі температуралық коэффициенті де жабын қабатының температурасымен өзгереді, ал қабықша неғұрлым жұқа болса, өзгеріс соғұрлым күрт болады. Мұны шамамен арал немесе түтікшелі құрылым қабықшасының бөлшектерінің субстратқа қайта булануы және қайта таралуы, сондай-ақ торлы шашырау, қоспалардың шашырауы, торлы ақаулардың шашырауы және тотығу нәтижесінде пайда болатын химиялық өзгерістердің нәтижесі деп санауға болады.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндіруr Гуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 18 қаңтар