El coeficiente de temperatura de la resistencia de las películas metálicas varía con el espesor de la película: las películas delgadas presentan un coeficiente negativo, las gruesas uno positivo, y las más gruesas son similares, aunque no idénticas, a los materiales a granel. En general, el coeficiente de temperatura de la resistencia cambia de negativo a positivo a medida que el espesor de la película aumenta hasta alcanzar decenas de nanómetros.
Además, la tasa de evaporación también afecta el coeficiente de temperatura resistivo de las películas metálicas. A baja tasa de evaporación, la capa de película se vuelve menos compacta, los electrones atraviesan su barrera de potencial y su capacidad para generar conductividad es débil. Junto con la oxidación y la adsorción, el valor de la resistencia es alto, el coeficiente de temperatura resistivo es pequeño, o incluso negativo. Con el aumento de la tasa de evaporación, el coeficiente de temperatura resistivo cambia de pequeño a grande, de negativo a positivo. Esto se debe a que, a baja tasa de evaporación, la película se prepara debido a la oxidación de las propiedades semiconductoras, lo que resulta en un coeficiente de temperatura resistivo negativo. Las películas preparadas a alta tasa de evaporación tienden a tener propiedades metálicas y un coeficiente de temperatura resistivo positivo.
Dado que la estructura de la película cambia irreversiblemente con la temperatura, la resistencia y el coeficiente de temperatura de la resistencia de la película también varían con la temperatura de la capa de recubrimiento durante la evaporación, y cuanto más delgada sea la película, más drástico será el cambio. Esto puede atribuirse a las alteraciones químicas causadas por la reevaporación y la redistribución de partículas de la película con estructura aproximada de islas o tubos sobre el sustrato, así como a la dispersión reticular, la dispersión por impurezas, la dispersión por defectos reticulares y la oxidación.
–Este artículo es publicado porFabricante de máquinas de recubrimiento al vacíor Guangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 18 de enero de 2024