Коэффитсиенти ҳарорати муқовимати плёнкаи металлӣ вобаста ба ғафсии плёнка фарқ мекунад, плёнкаҳои тунук манфӣ, плёнкаҳои ғафс мусбат ва плёнкаҳои ғафс монанданд, аммо ба маводҳои калон монанд нестанд. Умуман, коэффитсиенти ҳарорати муқовимати муқовимат бо афзоиши ғафсии плёнка то даҳҳо нанометр аз манфӣ ба мусбат тағйир меёбад.
Илова бар ин, суръати бухоршавӣ ба коэффитсиенти ҳарорати муқовимати плёнкаҳои металлӣ низ таъсир мерасонад. Суръати пасти бухоршавӣ, ки аз ҷониби қабати плёнка омода карда мешавад, суст аст, электронҳо аз монеаи потенсиалии он мегузаранд ва қобилияти тавлиди гузаронандагӣ заиф аст, ки бо оксидшавӣ ва адсорбсия якҷоя карда мешавад, аз ин рӯ арзиши муқовимат баланд аст, коэффитсиенти ҳарорати муқовимат хурд ё ҳатто манфӣ аст, бо афзоиши суръати бухоршавӣ, коэффитсиенти ҳарорати муқовимат муқовимати хурд аз калон, аз манфӣ ба мусбат тағйир меёбад. Ин аз сабаби суръати пасти бухоршавии плёнкаи омодашуда аз сабаби оксидшавии хосиятҳои нимноқилҳо мебошад, коэффитсиенти ҳарорати муқовимат арзишҳои манфӣ дорад. Плёнкаҳое, ки бо суръати баланди бухоршавӣ омода карда мешаванд, майл доранд хосиятҳои металлӣ дошта бошанд ва коэффитсиенти ҳарорати муқовимати мусбат дошта бошанд.
Азбаски сохтори плёнка бо ҳарорат бебозгашт тағйир меёбад, муқовимат ва коэффитсиенти ҳарорати муқовимати плёнка низ бо ҳарорати қабати рӯйпӯш ҳангоми бухоршавӣ тағйир меёбад ва ҳар қадар плёнка тунуктар бошад, тағйирот ҳамон қадар шадидтар мешавад. Инро метавон ҳамчун натиҷаи тағйироти кимиёвӣ, ки дар натиҷаи бухоршавии дубора ва тақсимоти дубораи зарраҳои плёнкаи сохтори ҷазираӣ ё найчашакл дар зеризаминӣ, инчунин парокандагии шабака, парокандагии ифлосӣ, парокандагии нуқсонҳои шабака ва оксидшавӣ ба вуҷуд омадаанд, тасаввур кард.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсоли мошини пӯшонидани вакуумӣр Гуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 18 январи соли 2024