De temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van metaalfilms varieert met de filmdikte. Dunne films hebben een negatieve temperatuurcoëfficiënt, dikke films een positieve, en nog dikkere films lijken op, maar zijn niet identiek aan, bulkmaterialen. Over het algemeen verandert de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van negatief naar positief naarmate de filmdikte toeneemt tot tientallen nanometers.
Bovendien beïnvloedt de verdampingssnelheid ook de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van metaalfilms. Bij een lage verdampingssnelheid is de filmlaag losser, waardoor elektronen zich minder gemakkelijk door de potentiaalbarrière kunnen verplaatsen en de geleidbaarheid zwak is. Dit, in combinatie met oxidatie en adsorptie, resulteert in een hoge weerstandswaarde en een lage, of zelfs negatieve, temperatuurcoëfficiënt van de weerstand. Naarmate de verdampingssnelheid toeneemt, verandert de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van klein naar groot, van negatief naar positief. Dit komt doordat bij een lage verdampingssnelheid de halfgeleidende eigenschappen van de film oxideren, wat resulteert in een negatieve temperatuurcoëfficiënt van de weerstand. Films die bij een hoge verdampingssnelheid zijn bereid, hebben doorgaans metaalachtige eigenschappen en een positieve temperatuurcoëfficiënt van de weerstand.
Omdat de structuur van de film onomkeerbaar verandert met de temperatuur, veranderen ook de weerstand en de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand van de film met de temperatuur van de coatinglaag tijdens het verdampen. Hoe dunner de film, hoe drastischer de verandering. Dit kan worden verklaard door de chemische veranderingen die optreden als gevolg van herverdamping en herverdeling van de deeltjes van de film met een benaderende eiland- of buisvormige structuur op het substraat, evenals roosterverstrooiing, verstrooiing door onzuiverheden, verstrooiing door roosterdefecten en oxidatie.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabricage van vacuümcoatingmachinesr Guangdong Zhenhua
Geplaatst op: 18 januari 2024