Le coefficient de température de la résistance des films métalliques varie en fonction de leur épaisseur : il est négatif pour les films minces et positif pour les films épais. Les films très épais présentent des caractéristiques similaires, mais non identiques, à celles des matériaux massifs. En général, le coefficient de température de la résistance passe de négatif à positif lorsque l’épaisseur du film atteint quelques dizaines de nanomètres.
De plus, la vitesse d'évaporation influe également sur le coefficient de température de résistance des films métalliques. Une faible vitesse d'évaporation conduit à une couche mince et poreuse, où le passage des électrons à travers la barrière de potentiel et la conductivité sont faibles. Ce phénomène, associé à l'oxydation et à l'adsorption, se traduit par une résistance élevée et un coefficient de température de résistance faible, voire négatif. Lorsque la vitesse d'évaporation augmente, le coefficient de température de résistance passe d'une valeur faible à une valeur positive. Ceci est dû à l'oxydation des films obtenus par faible vitesse d'évaporation, qui leur confère des propriétés semi-conductrices et des coefficients de température de résistance négatifs. À l'inverse, les films obtenus par vitesse d'évaporation élevée tendent à présenter des propriétés métalliques et un coefficient de température de résistance positif.
La structure du film se modifiant de façon irréversible avec la température, sa résistance et son coefficient de température de résistance varient également en fonction de la température de la couche de revêtement lors de l'évaporation. Plus le film est mince, plus cette variation est importante. Ceci peut s'expliquer par les modifications chimiques induites par la réévaporation et la redistribution des particules du film, initialement de structure insulaire ou tubulaire, sur le substrat, ainsi que par la diffusion due au réseau cristallin, aux impuretés, aux défauts du réseau et à l'oxydation.
–Cet article est publié parfabrication de machines de revêtement sous vider Guangdong Zhenhua
Date de publication : 18 janvier 2024