Koéfisién suhu résistansi pilem logam rupa-rupa gumantung kana ketebalan pilem, pilem ipis négatip, pilem kandel positip, sareng pilem anu langkung kandel sami tapi henteu sami sareng bahan curah. Sacara umum, koéfisién suhu résistansi robah tina négatip ka positip nalika ketebalan pilem ningkat dugi ka puluhan nanometer.
Salian ti éta, laju penguapan ogé mangaruhan koéfisién suhu résistif pilem logam. Laju penguapan anu handap anu disiapkeun ku lapisan pilem leupas, éléktron meuntas panghalang poténsialna sareng kamampuan pikeun ngahasilkeun konduktivitas lemah, digabungkeun sareng oksidasi sareng adsorpsi, janten nilai résistansi luhur, koéfisién suhu résistansi leutik, atanapi bahkan négatip, kalayan paningkatan laju penguapan, koéfisién suhu résistansi parobahan résistansi leutik tina ageung, tina négatip ka positip. Ieu disababkeun ku laju penguapan anu handap tina pilem anu disiapkeun kusabab oksidasi sipat semikonduktor, koéfisién suhu résistansi nilai négatip. Pilem anu disiapkeun dina laju penguapan anu luhur condong gaduh sipat logam sareng gaduh koéfisién suhu résistansi positip.
Kusabab struktur pilem robih teu tiasa dibalikkeun deui dumasar kana suhu, koéfisién résistansi sareng suhu résistansi pilem ogé robih dumasar kana suhu lapisan palapis nalika penguapan, sareng beuki ipis pilemna, beuki drastis parobahanana. Ieu tiasa dianggap salaku hasil tina parobahan kimia anu disababkeun ku penguapan deui sareng distribusi ulang partikel tina pilem struktur pulo atanapi tubular anu ampir sami dina substrat, ogé panyebaran kisi, panyebaran pangotor, panyebaran cacad kisi, sareng oksidasi.
–Tulisan ieu dipedalkeun kupabrikasi mesin palapis vakumr Guangdong Zhenhua
Waktos posting: 18-Jan-2024