خصائص معامل درجة حرارة المقاومة ذات الطبقة المعدنية

يتغير معامل درجة حرارة مقاومة الأغشية المعدنية بتغير سمكها؛ فالأغشية الرقيقة سالبة، والأغشية السميكة موجبة، والأغشية السميكة جدًا تشبه المواد الصلبة ولكنها ليست مطابقة لها تمامًا. وبشكل عام، يتغير معامل درجة حرارة المقاومة من سالب إلى موجب مع ازدياد سمك الغشاء إلى عشرات النانومترات.

بالإضافة إلى ذلك، يؤثر معدل التبخر أيضًا على معامل المقاومة الحرارية للأغشية المعدنية. عند معدل تبخر منخفض، تكون طبقة الغشاء فضفاضة، مما يؤدي إلى ضعف قدرة الإلكترونات على عبور حاجز الجهد، وبالتالي ضعف قدرتها على توليد التوصيلية. يُضاف إلى ذلك الأكسدة والامتزاز، لذا تكون قيمة المقاومة عالية، ويكون معامل المقاومة الحرارية منخفضًا، أو حتى سالبًا. مع زيادة معدل التبخر، يتغير معامل المقاومة الحرارية من قيمة منخفضة إلى قيمة عالية، ومن قيمة سالبة إلى قيمة موجبة. ويعود ذلك إلى أن معدل التبخر المنخفض للغشاء المحضر يؤدي إلى أكسدة خصائص أشباه الموصلات، مما ينتج عنه قيم سالبة لمعامل المقاومة الحرارية. أما الأغشية المحضرة بمعدل تبخر عالٍ، فتميل إلى امتلاك خصائص معدنية، ويكون معامل المقاومة الحرارية فيها موجبًا.

بما أن بنية الفيلم تتغير بشكل لا رجعة فيه مع تغير درجة الحرارة، فإن مقاومة الفيلم ومعامل مقاومته الحرارية يتغيران أيضًا مع درجة حرارة طبقة الطلاء أثناء التبخر، وكلما كان الفيلم أرق، كان التغير أكثر وضوحًا. ويمكن اعتبار ذلك نتيجة للتغيرات الكيميائية الناجمة عن إعادة التبخر وإعادة توزيع جزيئات الفيلم ذي البنية التقريبية الجزيرية أو الأنبوبية على الركيزة، بالإضافة إلى تشتت الشبكة البلورية، وتشتت الشوائب، وتشتت عيوب الشبكة البلورية، والأكسدة.

– نُشر هذا المقال بواسطةتصنيع آلات الطلاء بالتفريغص قوانغدونغ تشنهوا