Металл пленкасынын каршылык температуралык коэффициенти пленканын калыңдыгына жараша өзгөрөт, жука пленкалар терс, калың пленкалар оң, ал эми калың пленкалар көлөмдүү материалдарга окшош, бирок бирдей эмес. Жалпысынан алганда, пленканын калыңдыгы ондогон нанометрге чейин көбөйгөн сайын каршылык температуралык коэффициенти терстен оңго өзгөрөт.
Мындан тышкары, буулануу ылдамдыгы металл пленкаларынын каршылык температуралык коэффициентине да таасир этет. Пленка катмары тарабынан даярдалган буулануу ылдамдыгы төмөн, электрондор анын потенциалдык тосмосунан өтөт жана өткөргүчтүктү пайда кылуу жөндөмү алсыз, кычкылдануу жана адсорбция менен коштолот, ошондуктан каршылык мааниси жогору, каршылык температуралык коэффициенти кичине же ал тургай терс, буулануу ылдамдыгынын жогорулашы менен каршылыктын температуралык коэффициенти кичине чоңдон терске өзгөрөт. Бул жарым өткөргүчтөрдүн касиеттеринин кычкылданышынан улам даярдалган пленканын буулануу ылдамдыгынын төмөндүгүнө байланыштуу, каршылык температуралык коэффициенти терс маанилерге ээ. Жогорку буулануу ылдамдыгында даярдалган пленкалар металлдык касиеттерге ээ жана оң каршылык температуралык коэффициентине ээ.
Плёнканын түзүлүшү температурага жараша кайтарылгыс өзгөргөндүктөн, буулануу учурунда плёнканын каршылык жана каршылык температуралык коэффициенти да каптоо катмарынын температурасына жараша өзгөрөт, ал эми плёнка канчалык жука болсо, өзгөрүү ошончолук кескин болот. Муну болжолдуу арал же түтүкчөлүү түзүлүш плёнкасынын бөлүкчөлөрүнүн субстраттагы кайра буулануусунан жана кайра бөлүштүрүлүшүнөн, ошондой эле торчо чачырашынан, кошулмалардын чачырашынан, торчо кемчиликтеринин чачырашынан жана кычкылдануудан келип чыккан химиялык өзгөрүүлөрдүн натыйжасы катары кароого болот.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүр Гуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2024-жылдын 18-январы