금속 박막의 저항 온도 계수는 박막 두께에 따라 달라지며, 박막은 음수, 후막은 양수입니다. 또한, 후막이 매우 두꺼워지면 벌크 재료의 저항 온도 계수와 유사하지만 완전히 동일하지는 않습니다. 일반적으로 박막 두께가 수십 나노미터까지 증가함에 따라 저항 온도 계수는 음수에서 양수로 변화합니다.
또한, 증착 속도는 금속 박막의 저항 온도 계수에도 영향을 미칩니다. 증착 속도가 낮은 박막은 박막층이 느슨하여 전위 장벽을 넘는 전자의 이동과 전도 능력이 약하고, 산화 및 흡착이 일어나기 때문에 저항값이 높고 저항 온도 계수가 작거나 심지어 음수 값을 나타냅니다. 증착 속도가 증가함에 따라 저항 온도 계수는 큰 값에서 작은 값으로, 음수에서 양수로 변화합니다. 이는 증착 속도가 낮은 박막의 경우 반도체 특성이 산화되어 저항 온도 계수가 음수 값을 가지기 때문입니다. 증착 속도가 높은 박막은 금속성을 띠는 경향이 있으며 양의 저항 온도 계수를 나타냅니다.
박막의 구조는 온도에 따라 비가역적으로 변화하기 때문에, 박막의 저항과 저항온도계수 또한 증착 과정 중 코팅층의 온도에 따라 변화하며, 박막이 얇을수록 변화 폭이 더욱 커진다. 이는 기판 위에 형성된 섬 모양 또는 관형 구조의 박막 입자들이 재증발 및 재분포되면서 발생하는 화학적 변화뿐 아니라, 격자 산란, 불순물 산란, 격자 결함 산란, 산화 등에 기인하는 것으로 볼 수 있다.
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게시 시간: 2024년 1월 18일