Metal film direncinin sıcaklık katsayısı film kalınlığına göre değişir; ince filmlerde negatif, kalın filmlerde pozitiftir ve daha kalın filmlerde ise kütle halindeki malzemelere benzer ancak tamamen aynı değildir. Genel olarak, film kalınlığı onlarca nanometreye kadar arttıkça direncin sıcaklık katsayısı negatiften pozitife doğru değişir.
Ek olarak, buharlaşma hızı metal filmlerin direnç sıcaklık katsayısını da etkiler. Düşük buharlaşma hızıyla hazırlanan film tabakası gevşektir, elektronların potansiyel bariyerini aşma yeteneği zayıftır ve oksidasyon ve adsorpsiyonla birleştiğinde direnç değeri yüksektir, direnç sıcaklık katsayısı küçüktür, hatta negatiftir. Buharlaşma hızının artmasıyla birlikte, direnç sıcaklık katsayısı küçükten büyüğe, negatiften pozitife doğru değişir. Bunun nedeni, düşük buharlaşma hızıyla hazırlanan filmin oksidasyon nedeniyle yarı iletken özelliklere sahip olması ve direnç sıcaklık katsayısının negatif değerler almasıdır. Yüksek buharlaşma hızıyla hazırlanan filmler metalik özelliklere sahip olma eğilimindedir ve pozitif bir direnç sıcaklık katsayısına sahiptir.
Filmin yapısı sıcaklıkla geri dönüşümsüz olarak değiştiğinden, filmin direnci ve direnç sıcaklık katsayısı da buharlaşma sırasında kaplama tabakasının sıcaklığıyla değişir ve film ne kadar ince olursa, değişim o kadar şiddetli olur. Bu durum, alt tabaka üzerindeki yaklaşık ada veya tüp şeklindeki yapıdaki filmin parçacıklarının yeniden buharlaşması ve yeniden dağılımının yanı sıra kafes saçılması, safsızlık saçılması, kafes kusurlarının saçılması ve oksidasyonun neden olduğu kimyasal değişikliklerin bir sonucu olarak düşünülebilir.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üretimir Guangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 18 Ocak 2024