Koefisien suhu resistensi film logam beda-beda gumantung saka kekandelan film, film tipis negatif, film kandel positif, lan film sing luwih kandel padha nanging ora padha karo bahan curah. Umumé, koefisien suhu resistensi owah saka negatif dadi positif nalika kekandelan film mundhak nganti puluhan nanometer.
Kajaba iku, laju penguapan uga mengaruhi koefisien suhu resistif film logam. Laju penguapan sing kurang sing disiapake dening lapisan film longgar, elektron ngliwati alangan potensial lan kemampuan kanggo ngasilake konduktivitas lemah, digandhengake karo oksidasi lan adsorpsi, mula nilai resistensi dhuwur, koefisien suhu resistensi cilik, utawa malah negatif, kanthi kenaikan laju penguapan, koefisien suhu resistensi owah-owahan cilik saka gedhe, saka negatif dadi positif. Iki amarga laju penguapan sing kurang saka film sing disiapake amarga oksidasi sifat semikonduktor, koefisien suhu resistensi nilai negatif. Film sing disiapake kanthi laju penguapan sing dhuwur cenderung duwe sifat logam lan duwe koefisien suhu resistensi positif.
Amarga struktur film kasebut owah tanpa bisa dibatalake karo suhu, koefisien resistensi lan suhu resistensi film kasebut uga owah karo suhu lapisan lapisan sajrone penguapan, lan luwih tipis film kasebut, luwih drastis owah-owahan kasebut. Iki bisa dianggep minangka akibat saka owah-owahan kimia sing disebabake dening penguapan maneh lan distribusi ulang partikel saka film struktur pulo utawa tubular sing kira-kira ing substrat, uga hamburan kisi, hamburan pengotor, hamburan cacat kisi, lan oksidasi.
-Artikel iki diterbitake deningproduksi mesin lapisan vakumr Guangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 18 Januari 2024